上海春粟自動化科技有限公司
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更新時間:2025-08-13 08:25:19瀏覽次數(shù):153次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)簡要描述:OSAKA渦輪分子泵TG-F系列由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時,從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。
OSAKA渦輪分子泵TG-F系列由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。
渦輪分子泵(復(fù)合分子泵)的排氣原理:
渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時,從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是,上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度,而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域,渦輪分子泵是通過該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能。
本公司在轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組合基礎(chǔ)上增加了“螺紋槽"構(gòu)造。被壓縮到圓筒狀的旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子)的壁面的氣體分子,最終沿著固定部分(定子)的螺紋槽,移到泵的排氣口一側(cè)。 由于螺紋槽的作用,渦輪分子泵(復(fù)合分子泵)不僅在分子流域,在粘滯流也能排氣,尤其在粘滯流時可以大流量排氣。 因此,渦輪分子泵的適用壓力范圍被擴(kuò)展,得到了很多用途的廣泛應(yīng)用。此外,由于可以在高背壓下運(yùn)轉(zhuǎn),也有可能使用更小的、壓力更高的輔助泵。
無油的超真空環(huán)境
?機(jī)械式的氣體分子排氣(動態(tài)排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
?可排稀有氣體和腐蝕性氣體
?可連續(xù)排大流量氣體
?可工作的壓力范圍寬。 (~10-10Pa).
OSAKA渦輪分子泵TG-F系列使用了脂潤滑陶瓷軸承,實(shí)現(xiàn)了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強(qiáng),可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產(chǎn)品。
多方位安裝
輕巧設(shè)計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
產(chǎn)品規(guī)格:

產(chǎn)品尺寸圖:

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