產(chǎn)品特點(diǎn)：

•不銹鋼托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距

•8K鏡面不銹鋼腔體，卓-越密封性

•13.56射頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果；

•直觀的觸摸屏，過(guò)程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。

•方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過(guò)程中使用的要求。

•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體

•通過(guò)聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板

•高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣），雙路氣流控制，比例可調(diào)，采用高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(MFC)、針閥、美國(guó)世維洛克氣體管路。