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橢圓偏振測厚儀

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更新時間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù)：1342次

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產(chǎn)品簡介

在近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速地測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實際工作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測定光學(xué)參數(shù)如：布儒斯特角法測介質(zhì)膜的折射率，干涉法測膜厚，其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優(yōu)點，因而，橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

詳細(xì)介紹

特點：
·儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點；
·光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高；
·儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件，方便用戶使用。

主要技術(shù)指標(biāo)：
測量范圍
薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10；
測量zui小值：≤1nm
入射光波長：632.8nm
光學(xué)中心高：80mm
允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸：680*390*320mm
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：±0.5nm和±0.005
主機重量：25kg
入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍：20°- 90°精度為0.05°

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