南京博蘊通儀器科技有限公司
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MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術
MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術。
| 型號 | SP-8VIM-MO | |
| 優(yōu)點 | 1、采用立式爐體，正面開門結構，進出料方便，爐體結構緊湊，占地空間小； 2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時間。 3、比管式爐更安全，沒有斷管子的風險 4、可以在更大尺寸的晶片上生長石墨烯 5、帶有三路供氣系統，可在觸摸屏上直接設置流量，數字顯示，操作簡單 6、安裝有穩(wěn)壓系統，可把爐體內氣壓穩(wěn)定在某一數值 7、帶有氣體分散系統，可將進入爐腔內的氣體盡可能的分散，使反應更加均勻 8、安裝有水冷機，水冷機具有欠壓和斷水報警，使用安全可靠。 9、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護并具有報警、輸出電流顯示等功能。 | |
| 輸入功率 | 54KW（感應電源45KW+真空泵0.75KW+冷水機8KW） | |
| 溫度 | 1800℃ | |
| 外形尺寸 |
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| 銅圈尺寸 | 394mm(OD)X390mm(ID)X75mm(H) | |
| 石墨盤尺寸 |
外徑216mm，壁厚2mm，內高25mm，外高35mm | |
| 石英管 | 380mm(OD)X372mm(ID)X600mm(H) | |
| 工作電壓 | 三相 AC380V 50Hz | |
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中頻電源 | 功率 | 45KW |
| 振蕩頻率 | 1~20KHZ | |
| 加熱電流 | 10~95A | |
| 加熱電壓 | 70~550V | |
| 負載持續(xù)率 | 99% | |
| 冷卻水要求 | 6P冷水機 | |
| 保護 | 帶有欠水壓、過熱、過功率保護 | |
| 氣體分散裝置 |
多孔石英板位于石墨盤正上方，氣體從上法蘭進氣口進來后，經過多孔石英板被分散之后與石墨盤中物料充分接觸，反應更均勻 | |
| 穩(wěn)壓系統
| 穩(wěn)壓系統由真空泵、英國歐陸控制器、宇電控制器、壓力變送器、電容規(guī)等組成。 在進氣量小于2000SCCM，此穩(wěn)壓系統可將腔體內壓力控制在0~20000Pa范圍內的某一數值。壓力波動±1Pa 宇電控制器和壓力變送器用于控制真空泵的啟動和粗略真空控制，壓力變送器量程-100KPa~100KPa 歐陸儀表和電容規(guī)用于精確控制真空，壓力測量范圍0~20000Pa | |
| 供氣系統 | 供氣系統由質量流量計，液晶屏，控制軟件組成，可在液晶屏上直接輸入流量數值，精準控制流量 | |
| 物料升降平臺 | 物料可以通過自動升降平臺到加熱區(qū)、降下來后可從爐門處拿出。 1、升降平臺行程 300mm 2、升降平臺升降速度 0.1um-2000um/s 3、升降平臺上下都做了限位，限度的保護設備 4、放料取料都很方便 | |
| 不銹鋼支架 | 不銹鋼支架垂直固定在移動架子上，石英管和法蘭通過支撐板固定于不銹鋼支架上，非常牢固、緊湊 | |
| 下真空法蘭 | 下不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，并焊接有KF25接頭、KF16接口和進氣閥門，KF25接頭上安裝有真空擋板閥，1米長波紋管連接于該閥和真空泵，KF16接口可接真空計 | |
| 上真空法蘭 | 上真空法蘭安裝有壓力表和進氣閥，法蘭蓋配有2種，一種帶玻璃觀察窗，可觀察管內物料融化的情況，一種熱電偶，可對物料進行程序升溫 | |
| 耐火材料 | 爐管內的耐火裝置由日本三菱1900型氧化鋁纖維制成，溫度可耐1800℃，頂部開有小孔，可插入熱電偶 | |
| 保護裝置 | 在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護使用者的安全 | |
| 控溫系統
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采用PID控制，可對物料進行程序控溫加熱，可同時手動調節(jié)電流輸出大小，設備帶有過溫保護 | |
| 熱電偶 | 鎢錸5/26 | |
| 控溫精度 | +/-5℃ | |
| 保護玻璃 | 在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護使用者的安全 | |
| 真空泵 | 型 號 | YTP750-4H |
| 功 率 | 0.75KW | |
| 電源電壓 | 三相380V | |
| 轉 速 | 1420r/min | |
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水冷機（選購）
| 型 號 | HZ-06A |
| 揚程 | 38M | |
| 制冷量 | 13.244*10³kcal/h | |
| 水箱容量 | 110L | |
| 輸入總功率 | 8KW | |
| 機器尺寸 | 650X1300X1145(長X寬X高) | |
| 認證 |
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| 質保期 | 1年，耗材除外 | |
| 注意事項 | 1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對氣壓）的低壓條件下使用； 2、若用戶需要在氣氛條件下進行實驗，必須在進氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設置要小于0.02MPa， 進氣流量<200SCCM（200ml/min) 3、請您仔細閱讀說明書，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標準操作程序。在操作過程中請密切監(jiān)控并正 確控制反應容器內部壓力，否則，操作失敗可能導致設備損壞或人身傷害 4、對樣品加熱時，不建議關閉抽氣閥和進氣閥使用。若氣閥關閉對樣品加熱，要時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防不可預見的損失 如您需要定制，請聯系我公司工程師 | |
本產品由石英管、爐體、升降裝置、不銹鋼水冷法蘭、耐火材料、供氣系統、真空系統、穩(wěn)壓系統及中頻電源控制系統等組成：
1、爐體：爐體由電器柜，不銹鋼支架組成，不銹鋼支架固定在電器柜上，用于支撐法蘭。
2、不銹鋼支架：不銹鋼支架垂直固定在電器柜上，石英管和法蘭通過支撐板固定于不銹鋼支架上，非常牢固、緊湊
3、不銹鋼法蘭：上真空法蘭安裝有熱電偶和進氣閥，熱電偶，可對物料進行程序升溫。下不銹鋼法蘭上焊接有真空腔體，在真空腔體上開有爐門，可從該爐門拿取物料、腔體上焊接有KF25接頭，可接四通，安裝真空擋板閥，1米長波紋管連接于該閥和真空泵，KF16接口可接真空計
4、溫控系統和熱電偶：用PID控制，可對物料進行程序控溫加熱，可同時手動調節(jié)電流輸出大小，設備帶有過溫保護
5、電器柜：由型鐵板組焊成柜架結構，靜電噴涂工藝。
6、水冷系統：由各種閥、管道等相關裝置組成，斷水時感應電壓會聲光報警、自動切斷加熱電源。
7、加熱電源：電源采用，整套電源相當于一臺電腦主機般大小，外觀小巧、
8、耐火材料：采用日本進口氧化鋁纖維材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強。
9、供氣系統：由質量流量計、供氣管道、液晶顯示屏以及控制軟件等組成?？芍苯釉谝壕辽显O置氣體流量，數字顯示，控制精準，操作簡單。
10、真空系統：由真空泵、真空管道、真空計、電阻規(guī)等組成，該設備真空度在10Pa左右。
11、穩(wěn)壓系統：由真空泵、英國歐陸控制器、宇電控制器、壓力變送器、電容規(guī)等組成，此穩(wěn)壓系統可將腔體內壓力控制在某一數值，波動很小。
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