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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽貝海瀛科技有限公司


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14nm集成電路工藝教學(xué)套件

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間：2023-07-28 09:20:04瀏覽次數(shù)：172次

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產(chǎn)品簡介

14nm集成電路工藝教學(xué)套件 主要特性 ●直觀全面及實踐性：直觀展示典型集成電路器件的制造工藝流程，實驗箱液晶顯示屏模擬真實工藝設(shè)備的參數(shù)設(shè)定，增強工藝教學(xué)的實踐性?！衽c時俱進及可拓展性：產(chǎn)品包含當(dāng)前器件的制造工藝流程（如FinFET、SOI等），預(yù)留1個定制按鍵用于用戶特殊器件工藝的定制需求，集成電路工藝模擬器可以根據(jù)行業(yè)工藝技術(shù)的發(fā)展進行同步更新。 技術(shù)資料產(chǎn)......

詳細介紹

當(dāng)前我國的集成電路量產(chǎn)工藝已經(jīng)進入到14nm，以EUV光刻機為代表的工藝制造設(shè)備價格極其昂貴，高校很難采購這類設(shè)備用于教學(xué)，同時，新手操作容易損壞，又有一定的危險性，使得高校集成電路工藝教育與真實工藝線人才需求脫節(jié)。為此，我們研發(fā)了14nm集成電路工藝套件。

該套件包含如下內(nèi)容
1. 完整的14nm工藝線虛擬制造設(shè)備操作：氧化爐、CVD設(shè)備、PVD設(shè)備、刻蝕機、離子注入機、退火設(shè)備、外延設(shè)備。
2. 完整的14nm工藝線虛擬制造步驟及晶圓微觀結(jié)構(gòu)、參數(shù)特性、電學(xué)特性等：氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、擴散、退火、外延。
3. 完成的14nm工藝線典型器件制造步驟及器件微觀結(jié)構(gòu)、參數(shù)特性、電學(xué)特性等：14nm FinFET；GaAs；LDMOS；MOSFET；BJT；DIODE；RESISTOR。
4. *的工業(yè)級集成電路版圖設(shè)計，包含基本器件單元和電路的版圖設(shè)計及GDSⅡ文件的導(dǎo)入和導(dǎo)出。
5. 7nm微納電子教學(xué)套件銜接，實現(xiàn)從工藝制造到器件測試完整過程。


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