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全自動(dòng)型原子力顯微鏡-AFM5500M

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廣州市君翔自動(dòng)化控制設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

AFM5500M專用原子力顯微鏡工作站選配項(xiàng)：SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)大范圍水平掃描采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對(duì)掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)

詳細(xì)介紹

AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站選配項(xiàng)：SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)大范圍水平掃描采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對(duì)掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。AFM5500M搭載了研發(fā)的水平掃描器，可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動(dòng)影響的準(zhǔn)確測(cè)試。高精角度測(cè)量普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時(shí)候，會(huì)發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會(huì)發(fā)生彎曲（crosstalk），可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

SEM圖像對(duì)比度不同，可以通過SPM的高精度3D形貌測(cè)量和物理特性分析找到其原因。

AFM5500M是操作性和測(cè)量精度大幅提高，配備4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對(duì)中，測(cè)試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動(dòng)操作平臺(tái)。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測(cè)量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺(tái)可輕松實(shí)現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。

參數(shù)規(guī)格：

AFM5500M 主機(jī)

馬達(dá)臺(tái)	自動(dòng)精密馬達(dá)臺(tái) **觀察范圍：100 mm （4英寸）全域馬達(dá)臺(tái)移動(dòng)范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm
**樣品尺寸	直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 樣品重量：2 kg
掃描范圍	200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：閉環(huán)控制 / Z：感應(yīng)器監(jiān)控）
RMS噪音水平*	0.04 nm 以下（高分辨率模式）
復(fù)位精度*	XY: ≤15 nm(3σ、計(jì)量10 μm的標(biāo)準(zhǔn)間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計(jì)量100 nm 的標(biāo)準(zhǔn)深度)
XY直角度	±0.5°
BOW*	2 nm/50 µm 以下
檢測(cè)方式	激光檢測(cè)（低干涉光學(xué)系統(tǒng)）
光學(xué)顯微鏡	放大倍率：x1 ～ x7 視野范圍：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm 顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器）
減震臺(tái)	臺(tái)式主動(dòng)減震臺(tái) 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg
防音罩	750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、約 237 kg
大小?重量	400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg

* 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。

OS	Windows7
RealTune®II	自動(dòng)調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號(hào)反饋
操作畫面	操作導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能（測(cè)試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測(cè)量履歷顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評(píng)估功能
X, Y, Z掃描驅(qū)動(dòng)電壓	0～150 V
時(shí)時(shí)測(cè)試（像素點(diǎn)）	4畫面（2,048 x 2,048） 2畫面（4,096 x 4,096）
長(zhǎng)方形掃描	2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析軟件	3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自動(dòng)控制功能	自動(dòng)更換懸臂、自動(dòng)激光對(duì)中
大小?重量	340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg
電源	AC100 ～ 240 V　±10% 交流
測(cè)試模式	標(biāo)配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM

* WINDOWS 是、美國(guó) Microsoft Corporation 在美國(guó)及美國(guó)以外國(guó)家注冊(cè)商標(biāo)。
* RealTune是日立高新科學(xué)公司在日本、美國(guó)以及歐洲的注冊(cè)商標(biāo)。

可適用的日立SEM型號(hào)	SU8240、SU8230（H36　mm型）、SU8220（H29 mm型）
樣品臺(tái)大小	41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H）
**樣品尺寸	Φ20 mm x 7 mm
對(duì)中精度	±10 µm （AFM對(duì)中精度）

產(chǎn)品特點(diǎn)：