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日立超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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更新時間：2026-08-11 08:07:48瀏覽次數(shù)：207次

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廣州市君翔自動化控制設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

核心理念1.采用優(yōu)異的成像技術(shù)SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號

詳細(xì)介紹

核心理念

1.采用優(yōu)異的成像技術(shù)

SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。

2.采用多通道成像技術(shù)

隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現(xiàn)了獲得樣品信息的**化。

3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法

大型樣品觀察
低真空觀察
超低溫觀察
實時觀察

等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是。

4.支持微納解析

采用肖特基發(fā)射電子槍，**束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

成像能力

追求信息**化的檢測系統(tǒng)

隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

樣品：包裹有機物的金屬棒

樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda

通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應(yīng)用實例（加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下，實現(xiàn)了獲取信息的**化。

采用可多通道顯示的GUI設(shè)計

優(yōu)化信號顯示功能

成像單元在信號顯示上也作了全新升級。

3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法

用戶可根據(jù)觀察需求，選擇不同的視場角和通道數(shù)。
單屏最多可同時顯示4通道信號。
導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標(biāo)圖像。
使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個顯示屏專門用來顯示信號，最多可同時顯示6通道信號。

高自由度的界面布局

使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實現(xiàn)實時監(jiān)控圖像的同時，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。

可擴展觀察和分析方法

樣品倉和馬達(dá)臺