Advanced Energy Industries, Inc.成立于1981年，總部位于美國科羅拉多州，是一家專注于精密電源轉(zhuǎn)換、測量和控制解決方案的全球化企業(yè)。該公司在等離子體電源輸送與控制領(lǐng)域擁有超過四十年的技術(shù)沉淀，其產(chǎn)品廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能光伏和數(shù)據(jù)存儲等高科技制造行業(yè)。

優(yōu)勢

Cesar系列具備豐富的頻率與功率選擇，可覆蓋2 MHz、4 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz及40.68 MHz等多種工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療頻段，功率等級從300 W至5 kW不等。Cesar 1330以13.56 MHz的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)頻率運(yùn)行，適配絕大多數(shù)半導(dǎo)體和等離子體工藝設(shè)備。

產(chǎn)品采用先進(jìn)的開關(guān)模式技術(shù)，搭載高效諧振開關(guān)概念，可將功率調(diào)節(jié)至大范圍輸出阻抗，在高功率輸出的同時降低能量損耗。設(shè)備支持多種運(yùn)行模式，包含正向功率調(diào)節(jié)、負(fù)載調(diào)節(jié)等，可在不同工況下保持穩(wěn)定工作狀態(tài)。

設(shè)備搭載智能保護(hù)與故障管理功能，集成過壓保護(hù)、過流保護(hù)、短路保護(hù)和過熱關(guān)機(jī)保護(hù)等多重安全特性，可通過系統(tǒng)互鎖接口集成到更大的設(shè)備安全回路中，提升使用安全性。產(chǎn)品配備豐富的互聯(lián)選項與友好的人機(jī)交互界面，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與現(xiàn)場操作，大功率機(jī)型可選用水冷設(shè)計，保障連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性。

參數(shù)

參數(shù)類別	技術(shù)指標(biāo)
品牌歸屬	Advanced Energy（美國）
產(chǎn)品系列	Cesar
型號	Cesar 1330
工作頻率	13.56 MHz
功率范圍	300 W — 5 kW
輸入電壓	交流200 V 或 400 V（三相可選）
控制接口	前面板LCD + 按鍵；模擬用戶端口；RS-232 / 以太網(wǎng)
運(yùn)行模式	正向功率調(diào)節(jié)、負(fù)載調(diào)節(jié)等
互聯(lián)互鎖	系統(tǒng)Interlock接口，支持外部安全信號中斷
保護(hù)功能	過壓、過流、短路、過溫保護(hù)
顯示器	高對比度LCD
冷卻方式	風(fēng)冷/水冷
外形結(jié)構(gòu)	19英寸工業(yè)機(jī)架安裝
安全合規(guī)	CE認(rèn)證，UC認(rèn)證；符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)

應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品可應(yīng)用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、反應(yīng)性離子刻蝕、濺射、等離子體表面處理、CO?激光系統(tǒng)等工藝場景，適配半導(dǎo)體、電子制造等工業(yè)領(lǐng)域使用需求。

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Advanced Energy射頻電源Cesar 1330適配半導(dǎo)體領(lǐng)域

優(yōu)勢

參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

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