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真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列

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產(chǎn)品型號(hào)SteeVac260/360/460

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真空制造鍍膜儀

循環(huán)凈化手套箱

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東譜科技（廣州）有限責(zé)任公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	加工定制	是

真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列SteeVac系列可提供200A蒸鍍電流，蒸發(fā)溫度可600°C，能夠滿足大部分有機(jī)材料的蒸鍍，也可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度；真空腔室采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料，采用方形結(jié)構(gòu)，內(nèi)部空間充足；可設(shè)置16組不同的蒸發(fā)材料，滿足各種復(fù)雜的蒸鍍條件，詳情請(qǐng)到“東譜科技“網(wǎng)站。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列SteeVac系列可提供200A蒸鍍電流，蒸發(fā)溫度可600°C，能夠滿足大部分有機(jī)材料的蒸鍍，也可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度；真空腔室采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料，采用方形結(jié)構(gòu)，內(nèi)部空間充足；可設(shè)置16組不同的蒸發(fā)材料，滿足各種復(fù)雜的蒸鍍條件；搭配分子泵可達(dá)優(yōu)于5*10-4Pa的真空度，適應(yīng)絕大部分蒸發(fā)材料所需真空環(huán)境；配備全自動(dòng)抽真空系統(tǒng)；可以實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)擊開啟抽真空，全自動(dòng)根據(jù)真空度檢測(cè)機(jī)械泵、分子泵、閘板閥、電磁閥的智能開啟，實(shí)現(xiàn)鼠標(biāo)一鍵式抽真空。

真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列配備手套箱防抽爆自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

□ 自動(dòng)切換掩膜系統(tǒng)；

□ 自動(dòng)開關(guān)腔體，自動(dòng)抽真空、退真空系統(tǒng)；

□ 自動(dòng)鍍膜工藝；

□ *的錯(cuò)誤檢測(cè)系統(tǒng)

□ 優(yōu)異的鍍膜均勻性；

□ 提供定制化服務(wù)。

產(chǎn)品應(yīng)用

□ 有機(jī)分子薄膜制備；

□ 半導(dǎo)體薄膜制備；

□ 光學(xué)薄膜制備；

□ 金屬電極制備；

□ 典型樣品：OLED、鈣鈦礦、薄膜電池、薄膜晶體管等。

功能參數(shù)

□ 蒸發(fā)源數(shù)量：2~16組可選；

□ 蒸發(fā)電流：0~200A連續(xù)可調(diào)；

□ 蒸發(fā)電源模組：1~10組可選，功率600W,1200W,1500W可選；

□ 極限真空：優(yōu)于4*10-5Pa；

□ 樣品與蒸發(fā)源距離：固定或0~70mm可調(diào)；

□ 鎢舟擋板：按蒸發(fā)源標(biāo)配，2~16組；

□ 氣壓保護(hù)：進(jìn)口壓力開關(guān)，正負(fù)壓可設(shè)置，有效保護(hù)真空環(huán)境；

□ 抽氣速率：常壓至5*10-2Pa≤10min；

□ 掩膜庫：4位/6位/8位可選；

□ 真空保持：停止真空系統(tǒng)后12小時(shí)≤2 Pa；

□ 門板控制：手動(dòng)、手動(dòng)自動(dòng)集成可選。

規(guī)格型號(hào)

參數(shù)/規(guī)格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
鍍膜方式	多源熱蒸發(fā)鍍膜	多源熱蒸發(fā)鍍膜	熱蒸發(fā)鍍膜
腔體結(jié)構(gòu)	方形，前后開門，可配合手套箱安裝	方形，前后開門，可配合手套箱安裝	方形，前后開門，可配合手套箱安裝
材質(zhì)用料	優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼	優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼	優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼
真空腔室尺寸	L260W262H351	L360W363H486	L460W464H635
電極分布	扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染	扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染	扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染
低溫源（有機(jī)/氧化物等）數(shù)量	最多6個(gè)蒸發(fā)源	最多9個(gè)蒸發(fā)源	最多13個(gè)蒸發(fā)源
低溫源溫度范圍	室溫~600°C	室溫~600°C	室溫~600°C
低溫源切換	PC控制/手動(dòng)	PC控制/手動(dòng)	PC控制/手動(dòng)
高溫源（金屬）數(shù)量	1~3可選	1~4可選	1~6可選
基片臺(tái)（樣品架）方案一	φ161mm，圓形	φ224mm，圓形	φ287mm，圓形
基片臺(tái)（樣品架）方案二	80*80mm,方形	110*110mm，方形	150*150mm，方形
基片臺(tái)（樣品架）加熱	常溫/加熱，加熱可選配室溫~400℃或室溫~200℃溫控范圍
基片臺(tái)（樣品架）高度	樣品架與源表面距離：≤330mm；裝片方式：側(cè)插方式
樣品托及掩模版	70×70mm，可放置65×65mm樣品	100×100mm，可放置90×90mm樣品	134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品
參數(shù)/規(guī)格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
基片臺(tái)擋板	程控，氣缸+磁流體驅(qū)動(dòng)，傳動(dòng)穩(wěn)定，密封可靠	程控，氣缸+磁流體驅(qū)動(dòng)，傳動(dòng)穩(wěn)定，密封可靠	程控，氣缸+磁流體驅(qū)動(dòng)，傳動(dòng)穩(wěn)定，密封可靠
基片臺(tái)升降	固定間距或0~30mm可調(diào)	固定間距或0~50mm可調(diào)	固定間距或0~70mm可調(diào)
基片尺寸	≤30×30mm	≤30×30mm	≤30×30mm
膜厚不均勻性	≤5%	≤5%	≤5%
備用接口	4	6	6
門板控制	手動(dòng)/自動(dòng)/手自一體	手動(dòng)/自動(dòng)/手自一體	手動(dòng)/自動(dòng)/手自一體
系統(tǒng)控制	PC軟件；速率自動(dòng)控制，功率控制，溫度控制。	PC軟件；速率自動(dòng)控制，功率控制，溫度控制。	PC軟件；速率自動(dòng)控制，功率控制，溫度控制。
蒸鍍過程控制	各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成	各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成	各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成
總功率	≥5KW	≥8KW	≥10KW
抽氣速率	5.0×10-2Pa≤5min	5.0×10-2Pa≤8min	5×10-2Pa≤10min
極限真空	優(yōu)于4.0×10-5Pa	優(yōu)于4.0×10-5Pa	優(yōu)于4.0×10-5Pa
漏率	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S
工作真空	≥5×10-4Pa，從大氣到工作真空時(shí)間≤30min
系統(tǒng)保壓	系統(tǒng)抽到極限后，停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后，系統(tǒng)真空度保持≤2Pa
參數(shù)/規(guī)格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
分子泵類別	油/脂潤(rùn)滑、磁懸浮可選	油/脂潤(rùn)滑、磁懸浮可選	油/脂潤(rùn)滑、磁懸浮可選
冷卻系統(tǒng)	搭配循環(huán)水冷卻	搭配循環(huán)水冷卻	搭配循環(huán)水冷卻
循環(huán)水參數(shù)	≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1%	≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1%	≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1%
掩膜庫一	4位	4位	4位
掩膜庫二	6位	6位	6位
掩膜庫	8位	8位	8位
真空系統(tǒng)	分子泵+機(jī)械泵，PC軟件控制	分子泵+機(jī)械泵，PC軟件控制	分子泵+機(jī)械泵，PC軟件控制
蒸發(fā)電源	控制方式：恒流模式；數(shù)量：按客戶要求；功率：600W,1200W，1500W可選；精度：程控精度為量程的0.01%。	控制方式：恒流模式；數(shù)量：按客戶要求；功率：600W,1200W，1500W可選；精度：程控精度為量程的0.01%。	控制方式：恒流模式；數(shù)量：按客戶要求；功率：600W,1200W，1500W可選；精度：程控精度為量程的0.01%。
典型：金屬源×4套，有機(jī)源×4套，內(nèi)門，外門下方各放兩只有機(jī)源，左右各放兩只金屬源；有機(jī)源可開艙調(diào)整角度，帶有標(biāo)尺，范圍豎直到指向樣品中心。
真空保持	12小時(shí)≤2Pa	12小時(shí)≤2Pa	12小時(shí)≤2Pa
系統(tǒng)保護(hù)	氣壓、高壓保護(hù)，控制系統(tǒng)全程即時(shí)報(bào)警	氣壓、高壓保護(hù)，控制系統(tǒng)全程即時(shí)報(bào)警	氣壓、高壓保護(hù)，控制系統(tǒng)全程即時(shí)報(bào)警
參數(shù)/規(guī)格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
氣路控制	超高真空氣動(dòng)電磁閥	超高真空氣動(dòng)電磁閥	超高真空氣動(dòng)電磁閥
電氣柜	與系統(tǒng)一體式集成化，節(jié)省空間	與系統(tǒng)一體式集成化，節(jié)省空間	與系統(tǒng)一體式集成化，節(jié)省空間
腔室測(cè)溫	可選高精度PT100測(cè)溫，軟件實(shí)時(shí)顯示溫度值	可選高精度PT100測(cè)溫，軟件實(shí)時(shí)顯示溫度值	可選高精度PT100測(cè)溫，軟件實(shí)時(shí)顯示溫度值
膜厚儀	腔室內(nèi)可安裝1~8個(gè)探頭標(biāo)配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀；可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口監(jiān)測(cè)控制儀	腔室內(nèi)可安裝1~8個(gè)探頭標(biāo)配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀；可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口監(jiān)測(cè)控制儀	腔室內(nèi)可安裝1~8個(gè)探頭標(biāo)配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀；可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口監(jiān)測(cè)控制儀
真空計(jì)顯示范圍	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa
機(jī)架	進(jìn)口鋁型材組裝，整體簡(jiǎn)潔大方	進(jìn)口鋁型材組裝，整體簡(jiǎn)潔大方	進(jìn)口鋁型材組裝，整體簡(jiǎn)潔大方
顯示屏	搭配工業(yè)級(jí)屏幕支架，可任意角度旋轉(zhuǎn)及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求	搭配工業(yè)級(jí)屏幕支架，可任意角度旋轉(zhuǎn)及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求	搭配工業(yè)級(jí)屏幕支架，可任意角度旋轉(zhuǎn)及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求