杭州大華儀器制造有限公司
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更新時間：2024-04-03 15:54:21瀏覽次數(shù)：277次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)裝置將13.560MHz射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈,用電感耦合方式激勵氣體,使其放電產(chǎn)生等離子體.這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn),并可以獲得純凈的等離子體.裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用
裝置將 13.560MHz 射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵氣體 , 使其放電產(chǎn)生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn) , 并可以獲得純凈的等離子體 . 裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用。
實(shí)驗(yàn)內(nèi)容
1、等離子體消毒滅菌實(shí)驗(yàn) , 如大腸桿菌 (8099)、 (ATCC6538)；
2、等離子體材料表面改性實(shí)驗(yàn) , 如紙張親水性、紙張接觸角；
3、等離子體材料表面清洗實(shí)驗(yàn)；
4、等離子體聚合實(shí)驗(yàn)。
主要技術(shù)參數(shù)
1、等離子體腔體體積：φ140mm×（H）155mm；
2、射頻功率： 0 ～ 500W；頻率：13.560MH Z ；
3、工作氣壓： 20 ～ 200Pa（建議工作在 100 Pa 以下）；
4、反應(yīng)腔本底真空： ≤ 5Pa；
5、反應(yīng)腔極限真空： 1×10 -1 Pa；
6、等離子體電子溫度： 1 ～ 8Ev；
7、流量控制器： 0 ～ 1000sccm；
8、工作電壓： AC220V±5% 50Hz；
9、整機(jī)功率： ≤ 1.5KW；
10、整機(jī)重量： 約 100Kg；
11、外形尺寸： 長 650× 寬 610× 高 1000mm。
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