測(cè)頭是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的關(guān)鍵部件，它直接影響三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度、測(cè)量重復(fù)性、操作的自動(dòng)化程度及檢測(cè)效率。

一、觸發(fā)式測(cè)頭CP100T

觸發(fā)式測(cè)頭是使用最多的一種測(cè)頭，是一個(gè)高靈敏的開(kāi)關(guān)式傳感器。當(dāng)測(cè)針與工件接觸而產(chǎn)生角度變化時(shí)，發(fā)出一個(gè)開(kāi)關(guān)信號(hào)，這個(gè)信號(hào)傳送到控制系統(tǒng)后，控制系統(tǒng)對(duì)此刻的光柵計(jì)數(shù)器中的數(shù)據(jù)鎖存，經(jīng)處理后傳送給測(cè)量軟件，表示測(cè)量了一個(gè)點(diǎn)。

CP100T測(cè)頭系統(tǒng)主要由兩部分構(gòu)成：測(cè)頭本體和可分離測(cè)頭吸盤(pán)

CP100T配置測(cè)針和加長(zhǎng)桿，要根據(jù)測(cè)頭的承載能力。如果測(cè)針和加長(zhǎng)桿的重量超出測(cè)頭承載能力，會(huì)造成誤觸發(fā)或縮短測(cè)頭壽命及精度。

CP100T測(cè)頭采用的是單點(diǎn)觸發(fā)式測(cè)量，主要用于零件的常規(guī)檢測(cè)，并非始終貼著工件表面，而是單點(diǎn)的方式。

二、掃描測(cè)頭CP500S

掃描測(cè)頭測(cè)端在接觸被測(cè)工件后，連續(xù)測(cè)得接觸位移，測(cè)頭的轉(zhuǎn)換裝置輸出與測(cè)桿的微小偏移成正比的信號(hào)，這類測(cè)頭既能測(cè)量空間點(diǎn)的坐標(biāo)位置，又能掃描測(cè)量曲線曲面，不僅可以發(fā)出觸測(cè)信號(hào)，而且可以給出測(cè)端微位移，但該類測(cè)頭結(jié)構(gòu)復(fù)雜，目前只有少數(shù)公司可以生產(chǎn)。

CP500S測(cè)頭系統(tǒng)主要由三部分構(gòu)成CP500S掃描測(cè)頭+CP500S-S/L掃描模塊+測(cè)針吸盤(pán)。用戶可從2個(gè)掃描模塊（可安裝長(zhǎng)度從20mm至230mm的M3測(cè)針）中任意選擇一個(gè)。

CP500S掃描測(cè)頭采用高分辨率光柵系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率小于0.1um，使得測(cè)量機(jī)能夠快速采集大量點(diǎn)，保證了機(jī)器精準(zhǔn)定位及高重復(fù)性，從而實(shí)現(xiàn)檢測(cè)和數(shù)字化的目的。該測(cè)頭可以實(shí)現(xiàn)貼著工件表面的連續(xù)掃描，主要用于曲線曲面零件的檢測(cè)，精度高，速度快。

對(duì)于人形機(jī)器人擺線輪、葉片、葉盤(pán)、葉輪等零件的掃描，使用CP500S掃描測(cè)頭，既提高檢測(cè)的速度，又保證了精度的要求。