中圖儀器SuperViewW白光干涉儀微透鏡陣列檢測設(shè)備滿足高精度、大批量的檢測要求！

技術(shù)參數(shù)

1.測量原理

基于低相干干涉原理，搭配垂直掃描干涉（VSI）、相移干涉（PSI）雙算法，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)垂直分辨率，可精準(zhǔn)捕捉微透鏡陣列的三維表面高度信息，完成曲率半徑、矢高、面型誤差、表面粗糙度等核心參數(shù)的精準(zhǔn)測量，即便參數(shù)出現(xiàn)納米級(jí)偏差也能精準(zhǔn)識(shí)別。

2.非接觸式測量

檢測過程中無任何物理接觸，有效避免損傷微透鏡精密微結(jié)構(gòu)，適配非球面、高傾角等特殊結(jié)構(gòu)微透鏡的檢測需求；

3.白光干涉3D測量

通過三維數(shù)據(jù)擬合技術(shù)，可快速重建微透鏡完整3D表面形貌，為參數(shù)計(jì)算提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。

4.在自動(dòng)化檢測方面

· 支持Mark標(biāo)記點(diǎn)自動(dòng)定位與位置糾偏，確保每個(gè)微透鏡單元測量位置精準(zhǔn)；

· 可導(dǎo)入前道工藝坐標(biāo)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)與生產(chǎn)工藝的無縫銜接；

· 能完成數(shù)千至數(shù)萬個(gè)微透鏡單元的自動(dòng)化批量檢測，全程無需人工干預(yù)；

· 支持檢測數(shù)據(jù)的自動(dòng)統(tǒng)計(jì)、合格判定與分Bin分類，檢測效率與精準(zhǔn)度雙在線，契合微透鏡陣列量產(chǎn)階段的質(zhì)檢要求。

一臺(tái)SuperViewW白光干涉儀微透鏡陣列檢測設(shè)備覆蓋微光學(xué)制造多類核心應(yīng)用場景，適配企業(yè)從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程檢測需求，是光通信、微光學(xué)器件制造企業(yè)的質(zhì)檢裝備。

1.光通信光模塊微透鏡陣列檢測，把控核心曲率、面型誤差等參數(shù)，保障光耦合效率與信號(hào)穩(wěn)定性；

2.適配VCSEL光學(xué)耦合透鏡檢測，精準(zhǔn)測量納米級(jí)幾何參數(shù)，避免光路偏移問題；

3.在消費(fèi)電子領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)AR/VR微光學(xué)器件的三維形貌檢測，滿足微光學(xué)元件的高精度質(zhì)控要求；

4.還能針對(duì)晶圓制造環(huán)節(jié)，完成晶圓級(jí)微透鏡陣列的批量檢測，即便晶圓上有數(shù)萬微透鏡單元，也能實(shí)現(xiàn)高效全覆蓋。

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注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級(jí)實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取產(chǎn)品完整資料