從晶圓膜厚到光刻膠臺(tái)階，中圖儀器NS系列探針式臺(tái)階儀一站式解決微觀形貌測(cè)量難題。

在半導(dǎo)體、微納材料及光電子等高精尖領(lǐng)域，微觀結(jié)構(gòu)的測(cè)量精度直接關(guān)乎良率。面對(duì)復(fù)雜的微米級(jí)甚至納米級(jí)特征，您需要一款不僅能測(cè)得準(zhǔn)，還能測(cè)得全的設(shè)備。

Nano Step系列臺(tái)階儀憑借其*的通用性，覆蓋以下核心應(yīng)用場(chǎng)景：

1.半導(dǎo)體與微電子：無論是晶圓表面的刻蝕深度、光刻膠層厚度，還是IC封裝中的Bump高度與TSV深度，均能精準(zhǔn)捕捉。

2.微納材料研發(fā)：針對(duì)石墨烯等二維材料的極薄厚度測(cè)量，以及微流控通道的結(jié)構(gòu)表征，提供亞埃級(jí)的分辨率支持。

3.光伏與面板：適用于太陽(yáng)能電池柵線高度及平板顯示器觸控點(diǎn)的微觀輪廓測(cè)量，支持大200mm（8英寸）樣品的真空吸附固定，滿足工業(yè)級(jí)檢測(cè)需求。

無論您的樣品是硬質(zhì)的硅片還是軟性的高分子膜，NS系列探針式臺(tái)階儀都能助您洞察微觀世界的每一個(gè)細(xì)節(jié)。

產(chǎn)品應(yīng)用

（1）半導(dǎo)體制造：沉積/蝕刻薄膜厚度測(cè)量、CMP工藝平整度檢測(cè)、抗蝕劑臺(tái)階高度分析，助力芯片良率提升。

（2）光伏&顯示面板：太陽(yáng)能涂層膜厚檢測(cè)、AMOLED屏微結(jié)構(gòu)分析、觸控面板銅跡線測(cè)量，適配光伏組件與顯示器件生產(chǎn)需求。

（3）MEMS&微納材料：微型傳感器形貌表征、柔性電子薄膜厚度檢測(cè)，支撐微納器件研發(fā)與量產(chǎn)質(zhì)控。

（4）科研與高校：材料表面應(yīng)力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐，加速科研項(xiàng)目落地。

如需了解產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù)、申請(qǐng)樣品測(cè)試，或針對(duì)您的光刻工藝定制專屬檢測(cè)方案，歡迎隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級(jí)實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。