當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>臺式掃描電鏡>> CEM3000鎢燈絲掃描電鏡
做先進陶瓷、汽車電子、精密五金生產(chǎn)的企業(yè)都清楚,產(chǎn)線一旦出現(xiàn)部件斷裂、良率突發(fā)下滑,每多停一小時都是實打?qū)嵉某杀緭p失。傳統(tǒng)模式下樣品送外檢、等電鏡室排隊,少則大半天多則兩三天,生產(chǎn)節(jié)奏全被打亂,還容易因盲調(diào)工藝造成批量不良。
中圖儀器CEM3000系列鎢燈絲掃描電鏡,專為車間現(xiàn)場級檢測打造,直接部署在產(chǎn)線旁、品質(zhì)部實驗臺即可使用,無需專屬電鏡室。遇到斷裂異常時,樣品無需復(fù)雜制樣,5分鐘即可獲取清晰微觀形貌圖,半小時內(nèi)就能通過斷口形貌定性根因:沿晶斷裂可快速定位燒結(jié)工藝或材料批次問題,穿晶斷裂可追溯模具或裝配應(yīng)力問題,氣孔形貌可區(qū)分粉體成型與排膠缺陷,當(dāng)場明確責(zé)任方向,快速推動產(chǎn)線復(fù)線,大幅降低停機損失。
核心技術(shù)參數(shù)一覽
1. 成像與分析能力
·電子槍:鎢燈絲,SE模式優(yōu)于4nm分辨率、BSE模式優(yōu)于8nm分辨率(@20kV);
·加速電壓:1~20kV,支持1kV超低電壓低損成像,適配電子束敏感樣品;
·放大倍數(shù):40~300,000×,可選配大圖拼接,覆蓋低倍大視野到高倍納米級觀測;
·探測器:標(biāo)配二次電子探頭+四象限高分辨背散射探頭,選配能譜儀(布魯克/牛津),實現(xiàn)形貌+元素成分雙重分析。
2. 高效真空系統(tǒng)
·真空度:高真空優(yōu)于9×10?3Pa,低真空5~100Pa(選配),適配導(dǎo)電/不導(dǎo)電樣品;
·抽氣效率:高真空<180s、低真空<120s,換樣倉破真空<30s,大幅減少等待時間。
3. 樣品臺與承載能力
·樣品臺:X/Y/T自動軸+R/Z手動軸,X/Y行程各50mm,支持-22.5°~+22.5°傾斜;
·最大樣品尺寸:70mm×70mm(水平)/45mm(高度),容納大尺寸/批量樣品。
4. 操作與耐用性
·自動化功能:自動合軸、聚焦、消像散、一鍵圖像增強,集成式操縱手柄快速調(diào)節(jié);
·物理參數(shù):400×670×730mm桌面級尺寸,120kg凈重,復(fù)合抗振防磁設(shè)計,適應(yīng)常規(guī)實驗室環(huán)境。
如需獲取完整技術(shù)參數(shù)手冊或定制化配置建議,可聯(lián)系我們領(lǐng)取。
中圖儀器CEM3000系列鎢燈絲掃描電鏡適用于結(jié)構(gòu)陶瓷、半導(dǎo)體封裝、新能源汽車部件等多行業(yè)的產(chǎn)線突發(fā)異常排查,把微觀檢測能力直接下沉到生產(chǎn)一線。
注:產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實時更新,具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn),詳情可咨詢客服獲取完整資料。



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