中圖儀器SuperViewW白光干涉光學(xué)粗糙度測量儀設(shè)備依托白光干涉技術(shù)，可精準(zhǔn)測量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率各類材質(zhì)的表面粗糙度：

1.在半導(dǎo)體制造及封裝中，能對硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度做亞納米級檢測；

2.3C電子領(lǐng)域可測玻璃屏、手機(jī)金屬殼模具的粗糙度，精準(zhǔn)識別微米級瑕疵帶來的粗糙度偏差；

3.光學(xué)加工行業(yè)適配各類光學(xué)元件的超光滑表面粗糙度測量；

4.還能滿足汽車零部件、MEMS器件等精密工件的粗糙度檢測需求；

SuperViewW白光干涉光學(xué)粗糙度測量儀以硬核技術(shù)參數(shù)鑄就表面粗糙度測量的精準(zhǔn)性與專業(yè)性！設(shè)備測量粗糙度的核心參數(shù)表現(xiàn)優(yōu)異：

1.粗糙度RMS重復(fù)性低至0.005nm，依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)，可提供300余種2D、3D參數(shù)作為粗糙度評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，滿足不同行業(yè)的檢測合規(guī)要求；

2.依托白光干涉技術(shù)與復(fù)合型EPSI重建算法，單一掃描模式即可完成各類材質(zhì)的表面粗糙度測量，搭配氣浮式隔振底座與0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價(jià)功能，有效隔離外界振動干擾，定量檢測環(huán)境噪聲，確保粗糙度測量數(shù)據(jù)的高精度與穩(wěn)定性。

3.W1型號在0.1nm分辨率下掃描速度達(dá)1.85μm/s，W1-Ultra型號更提升至8μm/s，快速掃描的同時(shí)保證粗糙度測量數(shù)據(jù)無偏差，且設(shè)備可完成粗糙度數(shù)據(jù)的去噪、濾波等處理，支持多格式報(bào)表導(dǎo)出，讓粗糙度測量更高效、更專業(yè)。

一臺設(shè)備覆蓋多行業(yè)粗糙度測量場景，適配企業(yè)多品類生產(chǎn)的質(zhì)檢要求。

（注：產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容以實(shí)際配置為準(zhǔn)，可根據(jù)檢測場景定制測量模塊與夾具。）