中圖白光干涉儀滿足企業(yè)多維度3D形貌檢測，憑借0.1nm縱向分辨率的優(yōu)勢，成為超光滑樣品3D形貌精準測量的核心裝備，廣泛適配超精密制造多行業(yè)核心檢測場景，且與共聚焦顯微鏡形成互補，共同構(gòu)建起覆蓋全類型樣品的專業(yè)顯微測量產(chǎn)品線，滿足企業(yè)多維度檢測需求！

應用場景

1.光通信領域

白光干涉儀可對800G/1.6T光模塊核心的微透鏡陣列完成高保真3D形貌重構(gòu)，精準捕捉曲率半徑、矢高等關鍵參數(shù)，為光路耦合效率把控提供數(shù)據(jù)支撐；

2.半導體行業(yè)

針對晶圓減薄后的超光滑表面，能實現(xiàn)納米級3D形貌測量，清晰還原表面微觀幾何特征，助力拋光工藝優(yōu)化；3C電子領域，可對手機玻璃屏、透明光學配件做3D形貌檢測，精準提取劃痕、凹坑等瑕疵的三維尺寸；

3.光學加工領域

適配透明光學膜片、光學透鏡等光滑器件的3D形貌重建，完整呈現(xiàn)表面平整度、曲率等形貌信息。

針對白光干涉儀難以覆蓋的陡、糙、暗類樣品，中圖儀器顯微產(chǎn)品線中的共聚焦顯微鏡可承接，其71.8°可測傾角能還原大陡壁復雜結(jié)構(gòu)，弱光信號解析能力適配低反射率、粗糙表面的3D形貌測量，光伏行業(yè)太陽能電池板絨面金字塔結(jié)構(gòu)、半導體劃片工藝的激光鐳射槽均能精準檢測。同時產(chǎn)品線還推出WT3000白光干涉+共聚焦二合一機型，一次裝夾即可完成光滑面與復雜結(jié)構(gòu)的3D形貌全測量，真正實現(xiàn)超精密制造全場景檢測覆蓋。

技術參數(shù)

白光干涉儀以硬核技術參數(shù)鑄就超光滑樣品3D形貌測量的納米級精度，其與共聚焦顯微鏡組成的顯微測量產(chǎn)品線，各展技術優(yōu)勢又形成協(xié)同，二合一機型更是實現(xiàn)技術融合，成為超精密制造3D形貌全維度測量的方案！

1.白光干涉儀

· 核心基于光的干涉定位原理，搭載白光LED光源，縱向分辨率高達0.1nm，且該精度不隨物鏡倍率衰減，低倍物鏡下仍能保持納米級3D形貌測量能力，是大面積超光滑樣品檢測的核心優(yōu)勢；

· 通過Z向逐層掃描與像素點光強擬合算法，精準鎖定零級干涉條紋位置，將其轉(zhuǎn)化為相對高度數(shù)據(jù)，實現(xiàn)樣品3D形貌的高保真重構(gòu)，可清晰還原Sa0.2nm級別超光滑表面的微觀形貌特征，支持大圖無縫拼接功能，輕松完成大尺寸樣品的全表面3D形貌測量，還配備自動化模塊，實現(xiàn)Mark點自動識別、位置糾偏，完成數(shù)萬個微透鏡單元的3D形貌批量檢測。

2.共聚焦顯微鏡

基于共軛共焦技術與針孔濾光設計，結(jié)合弱光信號解析算法，對低反射率樣品3D形貌測量適配性強，可測傾角達71.8°，能完整重建大陡壁復雜結(jié)構(gòu)的3D形貌，配備真彩相機可輸出3D真彩形貌圖像，且無需氣浮隔振臺，抗振性強。

3.WT3000二合一機型（復合式光學3D表面輪廓儀）

將兩套光學系統(tǒng)集成于電動機座，通過5孔電動物鏡塔臺實現(xiàn)一鍵模式切換，白光模式測超光滑3D形貌，共聚焦模式測復雜結(jié)構(gòu)3D形貌，一次裝夾完成全維度測量，兩款設備均為光學非接觸式無損檢測，可測3D形貌、粗糙度、臺階高等核心參數(shù)，兼容ISO/ASME等國內(nèi)外檢測標準。

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