中圖儀器國產NS臺階儀0.01埃分辨率，5?超高精度精準測量微觀檢測微觀輪廓。搭載線性可變差動電容傳感器（LVDC），一站式解決半導體、光伏、MEMS等精密制造與科研領域的多場景微觀參數檢測需求。

一、測量功能

1.臺階高度測量：精準量化蝕刻、濺射、沉積、CMP等工藝的材料沉積/去除量，保障工藝穩(wěn)定性與一致性。

2.粗糙度&波紋度分析：通過微觀輪廓曲線計算多維度參數，滿足高精密產品質量管控要求。

3.表面應力檢測：兼容金屬、薄膜、微納材料等多種材質，為材料性能評估與研發(fā)創(chuàng)新提供關鍵數據。

4.單區(qū)域快速檢測：影像導航定位，聚焦后一鍵啟動，快速完成單點精準測量，適配小批量樣品檢測。

5.多區(qū)域批量測量：陣列式掃描路徑設置，橫向縱向自由調整，批量樣品自動完成全點位檢測，提升檢測效率30%以上。

6.3D可視化呈現：自動完成掃描面全覆蓋檢測與3D圖像重建，微觀形貌直觀可溯，便于工藝問題排查。

7.SPC統計分析：生成批量數據變化趨勢圖表，為質量追溯與工藝優(yōu)化提供數據依據，助力精益生產。

二、產品優(yōu)勢

1.超高精度，數據無偏差

13μm量程下實現0.01埃分辨率，5?超高解析力，精準捕捉幾納米至幾百微米的臺階形貌，為嚴苛檢測標準提供硬核數據支撐。

2.檢測全，無需多設備

同步完成臺階高度（納米-1050μm）、表面粗糙度（Ra/Rz等數十項參數）、膜層厚度及應力分布測量，覆蓋工藝全流程檢測需求，簡化操作流程。

3.全域適配，降低投入成本

不受被測樣品反射率、材料種類、硬度限制，廣泛適配半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件等多行業(yè)，避免設備閑置浪費。

4.智能高效，提升檢測產能

支持單區(qū)域、多區(qū)域批量測量及3D可視化重建，搭配SPC統計分析功能，批量樣品一鍵檢測，數據趨勢直觀呈現，減少人工干預。

三、應用案例

中圖儀器國產NS臺階儀具有精準、高效、適配性強的核心優(yōu)勢。如需針對您的行業(yè)場景定制測量方案、獲取詳細參數或申請樣品測試，歡迎隨時聯系中圖儀器。

（注：產品參數與功能可能隨技術升級更新，具體以實際溝通為準）