浙興：羅茨真空泵配置前級(jí)泵應(yīng)考慮哪些問題？
發(fā)布時(shí)間：2021-10-29 人瀏覽
羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須配上前級(jí)泵組成機(jī)組，使用前級(jí)真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的，所以選擇前級(jí)真空泵的抽速是相當(dāng)重要的。羅茨真空泵的壓縮比是隨排出壓力而變化的，在高排出壓力下，壓縮比最多大3：1，而壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達(dá)50:1，甚至更高些。因此，選擇前級(jí)泵的抽速，要根據(jù)羅茨真空泵的長(zhǎng)期工作壓力范圍考慮。
例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并長(zhǎng)期工作，問應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵。
先假定用30升/秒的前級(jí)泵時(shí)，壓縮比K=600：30=20得出K=20時(shí)排出壓力為30 mbar。
由此得出，當(dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí)，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級(jí)泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。
1應(yīng)考慮預(yù)抽時(shí)間的要求
如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng)，可選較小的前級(jí)泵;假如真空室較大，而且要求很快預(yù)抽，就要用較大的前級(jí)泵，有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級(jí)泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。
2應(yīng)考慮對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求
是選擇前級(jí)泵的必須考慮的，對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。
當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。
3還應(yīng)考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的
如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。
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