| ZLM800雙頻激光干涉儀是德國Jenaer公司生產(chǎn)的新一代激光干涉儀。把性能穩(wěn)定的氦氖氣體激光與電子電路相結(jié)合，可制造出新型的干涉儀測量系統(tǒng)。 可編程ASIC裝置可根據(jù)用戶的要求，可提供的個性話測量系統(tǒng)。 ZLM800激光干涉儀廣泛應(yīng)用于獨(dú)立校準(zhǔn)系統(tǒng)、多軸定位系統(tǒng)，及快速動力學(xué)的全部控制系統(tǒng)。它還可*評估機(jī)器及機(jī)械的動力學(xué)動作，以便通過WINDOWS軟件，按用戶規(guī)定的方式對該動作進(jìn)行分析。 所有模塊化系統(tǒng)均配有超級蔡司光學(xué)，ZLM800激光干涉儀為用戶所有的應(yīng)用測量系統(tǒng)提供*的解決方案： | | - 位置
- 距離
- 速度
- 加速度
- 角度
- 振動
- 直度
- 垂直度
- 平坦度
- 整齊度
| 工作模式 型ZLM800激光干涉儀使用氦氖氣體激光，在雙頻外差中工作。 激光熱穩(wěn)定性為0.002 ppm,兩種模式的640MHz頻率用于信號處理相當(dāng)于四倍。這種高頻處理信號可以對運(yùn)動速度非常塊的物體進(jìn)行測量，而沒有干擾誤差，信號延時非常短。 干涉儀光學(xué)到PC插槽上電子計(jì)數(shù)器電路信號的傳輸通過光纖電纜來進(jìn)行，它可阻止外部電磁環(huán)境的干擾。因此ZLM800適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)測量環(huán)境及高真空環(huán)境。 作為PC插槽的替代品，可使用獨(dú)立的數(shù)據(jù)處理電子單元，它帶有多個接口，用于數(shù)據(jù)輸出、連接閉環(huán)控制回路。該型號的干涉儀可以擴(kuò)展為五軸測量。 要點(diǎn) - 被測物體zui大速度16m/s
- 無干擾誤差時的分辨率2.5nm（帶平面鏡干涉儀時為1.25nm）
- 加速度無限制
- 即使非常低的光線水平，探測信號也十分穩(wěn)定
- 信號延時<200 ns
- 激光壽命內(nèi)，頻率穩(wěn)定
- 對電磁干擾不敏感
- 適用于超級蔡司光學(xué)的高真空
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可靠性測量方法 通過相關(guān)的測量工具及簡單的操作，ZLM800干涉儀可完成可靠穩(wěn)定的測量任務(wù)，*符合ISO9000/9004標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。 ZLM800系統(tǒng)增加了測量的可靠性和穩(wěn)定性 世界范圍內(nèi)，ISO9000/9004是產(chǎn)品質(zhì)量控制管理的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)格根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)來進(jìn)行的質(zhì)量檢測，可以保證任何制造企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的性能。 測量的穩(wěn)定性由測量工具、測量方法和操作者等多方面因素決定，調(diào)整系統(tǒng)的測量誤差會*影響穩(wěn)定性。 一種新的測量助手，通過軟件可以zui大限度減小整個測量系統(tǒng)的調(diào)整誤差。兩個四象限傳感器置于激光測量頭內(nèi)， 一個用作測量光束，一個用作參考光束，保證了干涉儀系統(tǒng)能夠以*的方式與被測的物體相對齊。由于大屏幕顯示，對齊會顯得非常敏感。 使用調(diào)整助手的優(yōu)點(diǎn): - 系統(tǒng)調(diào)整精度顯示的建立時間zui小化
- 即使在zui復(fù)雜的設(shè)置中，激光頭的調(diào)整是必要的程序
- 通過zui高的可靠性能來解決調(diào)試的任務(wù)
智能化測量方法 ZLM800信號處理電路是以可變成ASIC裝置為基礎(chǔ)的。對于雙頻激光干涉儀ZLM800，在測量工作中，不同信號之間的相互作用，是*沒有問題的。 ZLM800可以與外部計(jì)數(shù)系統(tǒng)相連接。使得測試設(shè)備和激光測試儀的比較符合常規(guī)、節(jié)約時間。該過程使用實(shí)時信號偶合，按照德標(biāo)或標(biāo)準(zhǔn)對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。 激光測試儀作為zui準(zhǔn)確三維測量工具，測量數(shù)據(jù)易于記錄，不易丟失。這些優(yōu)點(diǎn)使得ZLM800激光測試儀是機(jī)器設(shè)備校準(zhǔn)和鑒定使用德理想選擇。 評估標(biāo)準(zhǔn) 精準(zhǔn)的測量方式 即使選用標(biāo)準(zhǔn)的配置，ZLM800激光測試儀的分辨率也能夠達(dá)到5nm，測量誤差優(yōu)于1µm/m。這是基于環(huán)境條件（特殊情況下的物質(zhì)溫度）通過AUK500自動環(huán)境補(bǔ)償儀（氣象站）*記錄下來的情況，并且周圍環(huán)境情況與測量室內(nèi)條件*。 使用ZLM800激光干涉儀，使得長度測量設(shè)備和比較設(shè)備的校準(zhǔn)變得更為容易和簡單。 | | 周圍環(huán)境對測量結(jié)果的影響可通過AUK500自動環(huán)境補(bǔ)償器或手工輸入來修正。zui多可使用5個物質(zhì)溫度傳感器來補(bǔ)償被測物體的線性偏移。 |
簡便的測量方式 ZLM800激光干涉儀帶有WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件，使得長度測量精度極為準(zhǔn)確，而且對數(shù)據(jù)的分析也極為方便。 可隨意登陸測量數(shù)據(jù)、表格和圖表，并且可充分利用WINDOWS™程序的各種優(yōu)勢。無論是測量位置、角度或者是直線度，由Carl Zeiss設(shè)計(jì)的軟件可以集成到任何的微軟WINDOWS™系統(tǒng)中。測量、分析、記錄和數(shù)據(jù)存檔過程都可在短時間內(nèi)輕松任意的完成。 在程序設(shè)計(jì)的過程中，用戶zui關(guān)心的一個問題是測量結(jié)果的記錄。集成式記錄編輯器使得編輯和打印某條圖表、表格和用戶增加的內(nèi)容更為容易。所有記錄的內(nèi)容都可通過剪貼板上的中間編輯器來導(dǎo)出到文字處理器里。 | | 在準(zhǔn)備和測量的過程中，zui重要的信息項(xiàng)目要進(jìn)行明顯的顯示。通過使用鼠標(biāo)或很少的幾個按鍵，就可進(jìn)入所有的功能程序中。 | | 要評估和分析測量的數(shù)據(jù)，通過簡單的操作，就可生成各種圖形和表格。甚至某些極小的細(xì)節(jié)都可囊括進(jìn)去。 | | | | | 測得的數(shù)據(jù)可以在文檔卡中存檔。通過卡片標(biāo)簽，可以多某些特殊數(shù)據(jù)進(jìn)行快速檢索，甚至從大量數(shù)據(jù)中進(jìn)行檢索。 |
干涉儀長度測量的*性能類別 | 測量 | 校準(zhǔn)、定位、對齊 - 機(jī)械誤差補(bǔ)償
- 主軸導(dǎo)線誤差補(bǔ)償
- 螺距誤差補(bǔ)償
| 控制 - 運(yùn)動分析
- 動態(tài)行為
- 誤差補(bǔ)償
|
ZLM800雙頻激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
| 真空中氦氖激光平均波長 | 632.8 nm | | 波長穩(wěn)定性 | 2*10-9 一個小時 2*10-8 壽命周期內(nèi) | | 激光束直徑 | 6mm （可選3.2mm） | | 應(yīng)急擴(kuò)展激光束zui大輸出 | 1mW | | 每束激光測量軸數(shù)量 | 1, zui多可選擇6個 | | 距離測量范圍 | 130英尺，zui多可選390英尺 | | 角度測量范圍 | ±15°，長度zui大65英尺 | | 直線度測量范圍 | ±0.195英寸， 長度6.5英尺，或32.5英尺 | | zui大速度 | | | 線性 | <4m/s，可選16m/s | | 角度 | <320 rad/s | | 距離分辨率 | | | 立體角鏡干涉儀 | 2.5nm （可選0.3nm） | | 平面鏡干涉儀 | 1.25nm （可選0.1nm） | | 非線性度 | | | 立體角鏡干涉儀 | ± 1.25nm | | 平面鏡干涉儀 | ± 0.62nm | | 角度分辨率 | 0.62*10-7rad | | 直線度分辨率 | 145 nm，32.5時 29 nm， 6.5英尺 | | 接口 | 正交信號 32bit（實(shí)時時間） Δt≈20ns | | 內(nèi)部環(huán)境 | 15°C ... 30°C 光學(xué)/高真空 | | 會員1.png)
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