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微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀

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更新時(shí)間：2026-09-24 10:47:08瀏覽次數(shù)：599次

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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZLM900-3D微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀由德國(guó)JENAer耶拿爾公司生產(chǎn)，為三軸外差式雙頻激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關(guān)系測(cè)量，主要用于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等微位移的測(cè)量和檢測(cè)，角度變化量的監(jiān)測(cè)等。

詳細(xì)介紹

微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀 ZLM900-3D


激光干涉儀ZLM 900-3D	PXI數(shù)據(jù)處理器激光干涉儀ZLM900-3D	光學(xué)鏡頭ZLM 900-3D

世界范圍內(nèi)，同類產(chǎn)品中效率zui高的干涉儀。

三軸外差式微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關(guān)系測(cè)量

高靈活性調(diào)整模塊，適用于所有數(shù)控機(jī)床的參數(shù)的測(cè)量

動(dòng)態(tài)測(cè)量zui大速度4m/s，實(shí)時(shí)顯示三個(gè)軸的測(cè)量數(shù)據(jù)

小型反射鏡，帶有磁性固定裝置

適用于筆記本電腦、PCI和PXI中線，與網(wǎng)絡(luò)兼容

位移測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)分辨率為1nm，角度測(cè)量分辨率為0.01"

使用高精度溫度傳感器，系統(tǒng)精度可達(dá)50nm/m

可拓展為6軸測(cè)量

外部觸發(fā)zui大頻率為40MHz快速調(diào)整也適用于3D

所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測(cè)量，無延時(shí)

zui多可擴(kuò)展到6軸

小型反射鏡

外部zui大觸發(fā)頻率40MHz

JENAer測(cè)量技術(shù)公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測(cè)量數(shù)控機(jī)床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量等。多軸干涉儀儀更可測(cè)量和檢測(cè)物體的微位移、擺動(dòng)振動(dòng)情況、工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況等。更多信息垂詢！

上圖為一個(gè)具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng)，光束由激光頭發(fā)出后進(jìn)入干涉鏡，3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個(gè)部分：

信號(hào)光束1用于位移的測(cè)量，信號(hào)光束2用于俯仰角的測(cè)量，信號(hào)光束三用于偏擺角的測(cè)量。

所有的光束照射到被測(cè)物體（3-軸反射鏡固定在被測(cè)物體上）后再次反射到干涉鏡上，每個(gè)信號(hào)光束與反射的光束進(jìn)行干涉，然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里，進(jìn)行信號(hào)分析后進(jìn)入到軟件里。


三軸測(cè)量軟件（位移、偏擺和俯仰角）	三角關(guān)系的設(shè)定

測(cè)量結(jié)果的統(tǒng)計(jì)	在位置5開始測(cè)量

位移和角度的*測(cè)量	ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)