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蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

閱讀：19發(fā)布時(shí)間：2025-10-4

半導(dǎo)體制造要求始終^控制工藝工具中的液體流動(dòng)，^苛刻的應(yīng)用之一是化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）。當(dāng)CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時(shí)，它會(huì)對(duì)產(chǎn)量，化學(xué)品使用和材料完整性產(chǎn)生極大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機(jī)時(shí)間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導(dǎo)致的一些問題。

蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境，對(duì)于CMP，提供了在拋光過程中^佳的使用點(diǎn)漿料流分配到晶片所需的線性和可重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內(nèi)^控制流量或壓力，以保持過程的完整性。

漿料的性能可實(shí)現(xiàn)的晶圓平面度，泵通過^控制漿料輸送和分配，有助于實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。泵的非侵入式設(shè)計(jì)提供了直的流動(dòng)路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速^到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料，化學(xué)品和去離子水的浪費(fèi)。

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