無塵無氧烘箱的工作原理
無塵無氧烘箱廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、通訊、化工、航空航天、、電子等行業(yè)。顧名思義，其主要特點就是烘箱工作過程中內(nèi)部達(dá)到潔凈，無氧的環(huán)境。
那么其內(nèi)部結(jié)構(gòu)和工作原理是怎么樣的？
怎樣達(dá)到無塵環(huán)境?
一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達(dá)到內(nèi)部無塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫高效過濾裝置(又分為千級和百級過濾器)。烘箱內(nèi)的空氣通過回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱，最后通過過濾器后回到工作室。
除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。
無氧烘箱怎樣達(dá)到無氧環(huán)境?
工作室內(nèi)主要是通過氮氣置換來達(dá)到無氧環(huán)境，在風(fēng)道內(nèi)充入高純度的氮氣，一般純度在99.999%以上(根據(jù)不同產(chǎn)品氧含量要求不同)，氮氣進(jìn)入后經(jīng)過高溫加熱后再通過過濾器，反復(fù)循環(huán)達(dá)到要求值。氧含量檢測目前主要是氧化鋯分析儀為主，打開電源，氧化鋯加熱達(dá)到工作溫度700-800℃，開始檢測。
注意，在無塵室以外不要長時間使用，空氣當(dāng)中有大量的顆粒長期使用會大大減少空氣過濾網(wǎng)的壽命。
無塵無氧烘箱的控制和工藝流程？
產(chǎn)品放進(jìn)去，電源打開后，不要急著充氮氣，開始加熱。而是等到氧分析儀達(dá)到工作溫度，氧含量達(dá)到該溫度后才會顯示(當(dāng)然氧檢測的范圍要根據(jù)不同的要求來設(shè)定)。顯示含量后，打開氮氣，達(dá)到要求的氧含量10ppm后，再打開加熱。
另外，選購時選擇全自動控制，只要設(shè)定好程序，不需要人工干預(yù)。使用前，設(shè)定氧分析儀的量程和溫度配方，并調(diào)整各流量計的流量。主要過程如下：接通電源后，氧分析儀自動升溫，大流量計自動開啟充氮。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的氧氣含量時，大流量計關(guān)閉，小流量計開啟，同時開始加熱。當(dāng)烤箱時間結(jié)束時，停止加熱并關(guān)閉氮氣。整個工藝流程結(jié)束。當(dāng)然，也可以根據(jù)不同的要求進(jìn)行控制和改變。
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