本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)，保證了高質(zhì)量的邊緣檢測(cè)和顯微檢測(cè)。在直線(xiàn)校準(zhǔn)中，采用夾線(xiàn)和叉線(xiàn)進(jìn)行觀(guān)測(cè)，比單純使用一個(gè)直線(xiàn)進(jìn)行觀(guān)測(cè)所獲得的結(jié)果更為精確。

詳細(xì)介紹

MT-400AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據(jù)半導(dǎo)體客戶(hù)研發(fā)的一款高精度測(cè)量設(shè)備。使測(cè)量物體精確的對(duì)準(zhǔn)樣品邊緣是至關(guān)重要的，本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)，保證了高質(zhì)量的邊緣檢測(cè)和顯微檢測(cè)。在直線(xiàn)校準(zhǔn)中，采用夾線(xiàn)和叉線(xiàn)進(jìn)行觀(guān)測(cè)，比單純使用一個(gè)直線(xiàn)進(jìn)行觀(guān)測(cè)所獲得的結(jié)果更為精確。在主機(jī)設(shè)計(jì)方面，我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性。此外，我們還采用了抗疲勞設(shè)計(jì)，操作人員即使長(zhǎng)時(shí)間使用，也不會(huì)感到疲勞和不適。新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能，可提供更銳利的圖案?？稍赯軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦，由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降至。兩側(cè)均配備了同軸粗/微調(diào)手輪，以速度實(shí)現(xiàn)對(duì)焦，儀器內(nèi)置高精度光柵尺，可進(jìn)行精確的3軸測(cè)量。

特征及優(yōu)勢(shì)

■ 配置*，測(cè)量精準(zhǔn)

■ 平臺(tái)可快速移動(dòng)，方便大尺寸產(chǎn)品測(cè)量

■ 符合人體設(shè)計(jì)的光學(xué)觀(guān)察

■ 測(cè)量數(shù)值實(shí)時(shí)顯示

■ 主機(jī)臺(tái)快速測(cè)量，電腦端同步展示

■ 便捷*的測(cè)量分析軟件

■ 可選配晶圓臺(tái)

■ 校準(zhǔn)和線(xiàn)性檢測(cè)

■ 包含獨(dú)立儀器桌、臺(tái)式電腦、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)和 22英寸的顯示器

■ 標(biāo)準(zhǔn)尺

儀器型號(hào)		MT-300AH		MT-400AH			MT-500AH
工作臺(tái)	鑄鐵臺(tái)尺寸(mm)	356×266		487×367			606×476
	玻璃臺(tái)尺寸(mm)	260×160		345×245			445×345
	運(yùn)動(dòng)行程(mm)	200(X)×150(Y)		300(X)×200(Y)			400(X)×300(Y)
	調(diào)焦行程(mm)	100		100			150
放大倍數(shù)與攝像系統(tǒng)		500萬(wàn)像素工業(yè)相機(jī)，可拍照可測(cè)量
		物鏡5X，10X，20X，50X （100選配）目鏡：10X/20
		X軸/Y軸顯示精度：0.0001mm Z軸顯示精度：0.0001MM
		總放大倍數(shù)50X-500X
示值誤差		X.Y≤(2.5+L/200)um			Z≤(3.5+L/50)um(L為被測(cè)長(zhǎng)度單位:mm)
照明系統(tǒng)		LED環(huán)形表面光+底部平行光
外形尺寸(mm) (長(zhǎng)×寬×高)		600×550×780	760×580×820			970×750×1000
承重		20kg	20kg			25kg
儀器重量（kg）		150kg	170kg			200kg
儀器電源		220V（AC） 50HZ