詳細(xì)摘要： 三維高精度位移臺(tái)可在XYZ三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動(dòng)，每軸運(yùn)動(dòng)行程可選25、50、100mm，可達(dá)納米級(jí)分辨率。
產(chǎn)品型號(hào)：RS232所在地：哈爾濱市更新時(shí)間：2026-09-16 在線留言
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詳細(xì)摘要： 三維高精度位移臺(tái)可在XYZ三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動(dòng)，每軸運(yùn)動(dòng)行程可選25、50、100mm，可達(dá)納米級(jí)分辨率。
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