上海維立勝衡傳感器有限公司
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閱讀：20發(fā)布時間：2025-2-23
三星電子正在開發(fā)自己的“智能傳感器系統(tǒng)”，用于對半導體工藝的控制和管理。這項新技術(shù)有望提高半導體良率、提高生產(chǎn)率。
據(jù)ETNews報道，三星電子內(nèi)部已經(jīng)開始了智能傳感器系統(tǒng)的研究與開發(fā)，預計未來將應(yīng)用于無人駕駛和人工智能半導體制造過程。該項目據(jù)悉正在與有關(guān)伙伴和學術(shù)界合作進行。
精確測量和管理等離子體條件，被認為是半導體生產(chǎn)工藝中的重要工作之一，因為只有在半導體制造過程中精確控制等離子體的均勻性和密度，才能提高半導體良率、確保產(chǎn)量。
而“智能傳感器系統(tǒng)”可以用于測量晶圓等離子均勻性，準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望實現(xiàn)產(chǎn)能的提高。
該公司現(xiàn)有的晶圓智能傳感器大部分采購自國外廠商，耗資巨大。而近期，鑒于對提高產(chǎn)量和生產(chǎn)率的需求不斷飆升，三星選擇轉(zhuǎn)向內(nèi)部研發(fā)，降低對外國傳感器的依賴程度。
此外，三星電子正在開發(fā)的智能傳感器據(jù)悉是超小型的，不會對現(xiàn)有設(shè)備空間造成太大影響。這意味著還能夠提高空間利用率。
三星電子還計劃逐步擴大智能傳感器的開發(fā)和應(yīng)用范圍。其目的是開發(fā)智能傳感器和系統(tǒng)，可用于各種半導體工藝，而不限于等離子體。
上述舉動是三星對構(gòu)建智能半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的嘗試，或許最終有望實現(xiàn)“人工智能晶圓廠”
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