上海維立勝衡傳感器有限公司
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上海維立勝衡傳感器有限公司
閱讀：28發(fā)布時(shí)間：2025-2-24
12月29日公布，中芯國(guó)際申請(qǐng)一種“圖像傳感器及其形成方法”。據(jù)悉，該方法包括：提供器件結(jié)構(gòu)，器件結(jié)構(gòu)包括襯底和第二襯底，襯底和第二襯底鍵合，襯底內(nèi)具有導(dǎo)電層和若干像素結(jié)構(gòu)，第二襯底內(nèi)具有器件結(jié)構(gòu)以及與器件結(jié)構(gòu)電連接的電互連層；在襯底內(nèi)形成開口，且開口暴露出部分導(dǎo)電層的表面；在開口的側(cè)壁和底部表面形成過(guò)渡金屬層，過(guò)渡金屬層與導(dǎo)電層接觸；對(duì)過(guò)渡金屬層的表面進(jìn)行氧化處理形成鈍化層；在開口內(nèi)形成金屬板，金屬板與鈍化層接觸；對(duì)鈍化層進(jìn)行還原處理，使得金屬板與導(dǎo)電層之間恢復(fù)金屬連通性。利用鈍化層的絕緣性質(zhì)能夠在形成金屬板的過(guò)程中，阻隔帶有電荷的等離子體流入第二襯底內(nèi)形成高壓，進(jìn)而對(duì)器件結(jié)構(gòu)造成損傷，以此提升圖像傳感器的性能。
申請(qǐng)公布號(hào)：CN117316962A
申請(qǐng)公布日：2023.12.29
申請(qǐng)?zhí)枺?022106800861
申請(qǐng)日：2022.06.16
申請(qǐng)人：中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
發(fā)明人：馮威;石強(qiáng);閻大勇
地址：100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道18號(hào)
分類號(hào)：H01L27/146(2006.01)I
代理機(jī)構(gòu)：北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
代理師：張瑞
商 鋪：上海維立勝衡傳感器有限公司 http://m.liuyangwu.com/st157769/
主營(yíng)產(chǎn)品：光柵傳感器
移動(dòng)端：上海維立勝衡傳感器有限公司手機(jī)站
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