上海維立勝衡傳感器有限公司
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閱讀：57發(fā)布時間：2025-2-24
MEMS熱式氣體流量傳感器是一種基于流體傳熱學(xué)原理的傳感器，利用MEMS熱式原理對管路氣體介質(zhì)進行流量監(jiān)測。這種傳感器由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。當(dāng)氣體靜止時，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度相同；而當(dāng)氣體從右向左流動時，等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。
MEMS熱式氣體流量傳感器具有多種應(yīng)用領(lǐng)域，如呼吸設(shè)備、噴霧器、制氧機、吸入和麻醉設(shè)備、暖通空調(diào)、燃料電池、氣體分析儀、過程控制和汽車發(fā)動機等。這種傳感器在測量單位時間內(nèi)流經(jīng)模塊預(yù)設(shè)橫截面處的氣體或液體的質(zhì)量或體積方面具有重要作用。
此外，MEMS熱式氣體流量傳感器的市場規(guī)模正在不斷擴大。根據(jù)MarketsandMarkets市場調(diào)研報告顯示，2021年流量傳感器市場規(guī)模為77億美元，預(yù)計2026年將達到103億美元，復(fù)合年增長率約為6%。
量程比：>300:1
響應(yīng)速度：<5ms
啟動流量：<0.05m/s
靈敏度與精度：高靈敏度、高精度，讀數(shù)精度高于+/-3%
可靠性：不可動部件，可靠性高
應(yīng)用范圍：適用于潔凈氣體和液體，醫(yī)療呼吸、診斷設(shè)備，燃料電池控制，汽車空氣流量計，設(shè)備，氣相、液相色譜質(zhì)譜分析儀，HVAC檢漏儀，工業(yè)自動化等。
以上參數(shù)作為示例，需知不同型號的參數(shù)可能會有所不同。
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