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上海維立勝衡傳感器有限公司


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MEMS傳感器PCB設(shè)計熱機械應(yīng)力的影響

閱讀:99發(fā)布時間:2025-3-3

1.焊接對MEMS的影響

由于傳感器芯片、封裝和PCB之間的相互作用,組裝過程可能會對傳感器產(chǎn)生熱機械應(yīng)力。

基本上,PCB的變形會轉(zhuǎn)移到基板和傳感器的封裝上。然后機械應(yīng)力通過其錨傳遞到傳感器的機械結(jié)構(gòu)。這會導(dǎo)致傳感器參數(shù)的偏差/漂移,例如偏移、靈敏度和自測試響應(yīng)。在最壞的情況下,激進(jìn)的處理可能會導(dǎo)致傳感器結(jié)構(gòu)的損壞。

2.熱機械偏移漂移對傳感器的影響

熱機械應(yīng)力導(dǎo)致傳感器硅芯片變形,該變形轉(zhuǎn)化為固定電極和可移動??電極之間的相對位移。對于傳感器來說,這種位移會產(chǎn)生與真實物理信號相當(dāng)?shù)男盘枴@?,這會產(chǎn)生設(shè)備偏移的變化。

與熱機械偏移漂移相關(guān)的傳感器參數(shù)的實際變化取決于多個變量(封裝、材料、MEMS設(shè)計、焊接工藝等)。

3.熱機械應(yīng)力的影響

當(dāng)溫度發(fā)生變化時,會發(fā)生熱機械應(yīng)力和相關(guān)的翹曲變形:

①通常是彈性效應(yīng)

②當(dāng)外力去除后,翹曲得到緩解

③封裝材料的選擇和傳感器的設(shè)計都旨在限度地減少這種影響。

④在焊接過程中,由于以下原因,封裝中可能會發(fā)生一些塑性變形:

⑤與PCB相互作用,力場不均勻

⑥工藝未優(yōu)化,例如回流焊爐中的溫度下降。當(dāng)溫度應(yīng)力消除時,塑性變形不會松弛回來

4.機械應(yīng)力因素

不均勻的力場分布是由以下因素造成的:

①不對稱PCB布局、周圍元件、過孔位置

②MEMS元件的放置

③填充劑的使用和分配

④焊膏厚度不均勻

優(yōu)化性能需要考慮的其他因素包括:

⑤非常厚的焊膏可降低傳感器的翹曲程度

⑥建議在組裝后緩慢冷卻電路板(JEDEC規(guī)范),以避免傳感器承受應(yīng)力

⑦建議在所有搬運操作(包括運輸和組裝)期間避免重力超過的傳感器限制


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