上海維立勝衡傳感器有限公司
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閱讀：47發(fā)布時間：2025-3-5
有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制。高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機(jī)械、材料、熱學(xué)、力學(xué)、化學(xué)等多學(xué)科的復(fù)雜交互融合，涵蓋基礎(chǔ)理論、設(shè)計、工藝制程、封裝測試、設(shè)備裝備等多個產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)。
據(jù)悉，該傳感器主要技術(shù)指標(biāo)比傳統(tǒng)應(yīng)變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個數(shù)量級，并且具有數(shù)字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優(yōu)點(diǎn)，技術(shù)指標(biāo)、穩(wěn)定性、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性均達(dá)到水平。
航天九院704所將大力推進(jìn)萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器在海洋、氣象、計量校準(zhǔn)、過程工業(yè)、石油化工、能源等行業(yè)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。目前，萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器已應(yīng)用于海洋監(jiān)測、氣象觀測等領(lǐng)域，為實現(xiàn)航天技術(shù)產(chǎn)業(yè)價值奠定了扎實的基礎(chǔ)。后續(xù)，航天九院704所將基于核心MEMS敏感芯片和傳感器技術(shù)，進(jìn)一步開發(fā)儀器和感知測量系統(tǒng)，形成“芯片+傳感器+儀器+系統(tǒng)”的信息感知模式，推進(jìn)產(chǎn)品譜系化、規(guī)模化、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。
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