上海維立勝衡傳感器有限公司
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閱讀：99發(fā)布時間：2025-3-11
MEMS傳感器有多種類型，常見的包括：
壓力傳感器：分為壓力傳感器和計量壓力傳感器。
熱學(xué)傳感器：包括溫度和熱量傳感器。
力學(xué)傳感器：如力、壓強(qiáng)、速度和加速度傳感器。
化學(xué)傳感器：包括化學(xué)濃度、化學(xué)成分和反應(yīng)率傳感器。
磁學(xué)傳感器：如磁場強(qiáng)度、磁通密度和磁化強(qiáng)度傳感器。
輻射傳感器：主要指電磁波強(qiáng)度傳感器。
電學(xué)傳感器：如電壓、電流和電荷傳感器。
除此之外，還有一些如MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等的MEMS器件產(chǎn)品。主流的MEMS器件分別是：MEMS射頻器件、壓力傳感器、慣性組合傳感器、聲學(xué)傳感器、加速度傳感器、噴墨打印頭、微型熱輻射傳感器、陀螺儀傳感器、光學(xué)傳感器等。下面舉5個細(xì)分應(yīng)用做更詳細(xì)介紹：
1、MEMS運(yùn)動傳感器
MEMS運(yùn)動傳感器主要有加速度計、陀螺儀、磁力計三大類，加速度計和陀螺儀可以集成為六軸慣性傳感器；磁力計和加速度計集成為電子羅盤（e-compass），加速度計、陀螺儀和磁力計可集成為9軸傳感器。
MEMS陀螺儀是通過陀螺儀的核心原理科里奧利力測角速度的；MEMS加速度計可以感知任意方向上的加速度。MEMS磁力計通過測試磁場強(qiáng)度和方向可以定位設(shè)備的方位。
2、MEMS麥克風(fēng)
MEMS麥克風(fēng)在消費(fèi)電子、汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域廣泛的應(yīng)用。目前幾乎每部智能手機(jī)至少使用一個MEMS麥克風(fēng)，的智能手機(jī)甚至使用三個麥克風(fēng)，分別用于語音采集、噪音消除、改善語音識別，而iPhone 6S已經(jīng)采用了4個MEMS麥克風(fēng)。在物聯(lián)網(wǎng)的時代，大量的物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備也將使用MEMS麥克風(fēng)。蘋果iPhone 5S和5C采用兩顆樓氏電子（Knowles）、一顆是瑞聲科技（AAC）的MEMS麥克風(fēng)。
3、MSME壓力傳感器
壓力傳感器主要用于檢測壓力，根據(jù)量程范圍可分為低壓、中壓、高壓壓力傳感器。MEMS壓力傳感器則屬于低壓傳感器，主要檢測原理有硅電容式和硅壓阻式。
汽車和醫(yī)療是MEMS壓力傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域。與MEMS慣性傳感器相比，目前MEMS壓力傳感器在消費(fèi)電子與移動領(lǐng)域的應(yīng)用不是特別廣泛，主要包括潛水與運(yùn)動手表、計步器和徒步高度計，部分應(yīng)用于飲水機(jī)、洗衣機(jī)、太陽能熱水器等家電產(chǎn)品充當(dāng)水位傳感器。未來智能手機(jī)、平板電腦可能集成MEMS壓力傳感器用以檢測大氣壓，或充當(dāng)高度計以支持室內(nèi)定位服務(wù)。
4、MEMS環(huán)境傳感器
MEMS濕度傳感器在工業(yè)控制、氣象、農(nóng)業(yè)、礦山檢測等行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。MEMS氣體傳感器主要用于檢測目標(biāo)氣體的成分、濃度等。
5、MEMS生物傳感器
MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。MEMS生物傳感器是利用生物分子探測生物反應(yīng)信息的器件，被列為新世紀(jì)五大醫(yī)學(xué)檢驗技術(shù)之一，是現(xiàn)代生物技術(shù)與微電子學(xué)、化學(xué)等多學(xué)科交叉結(jié)合的產(chǎn)物。未來MEMS生物傳感器在醫(yī)學(xué)、食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域具有廣闊發(fā)展空間。
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