常用的機械泵有定片式、旋片式、滑閥式，而***普遍采用的為旋片式真空泵(簡稱旋片泵)，它是一種油封式機械真空泵。旋片式機械泵既可以單***使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級預(yù)抽泵。它可以用來抽除真空密封容器中的干燥氣體，在裝有氣鎮(zhèn)閥的情況下，也可以抽除一定數(shù)量的可凝性氣體。但不適用于抽除對金屬具有腐蝕性的含氧高的、含有顆粒塵埃的以及對泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體。旋片式機械泵是真空技術(shù)中獲得***基本真空的設(shè)備之一。
旋片式機械泵大多為中小型泵，它有單級泵和雙級泵兩種。雙級泵就是從結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。單級和雙級泵的區(qū)別在于雙級泵可以獲得較高的真空度。
在雙級泵中，當?shù)驼婵占壓透哒婵占壌嬖诓坏惹粫r，就需要設(shè)罝輔助排氣閥。設(shè)置輔助排氣閥的目的是在入口壓力較高時，經(jīng)高真空級壓縮的氣體達到排氣壓力時，輔助排氣閥開始工作，部分氣體由此排出，剩余氣體由低真空級抽走。機械泵當入口壓力降低時，輔助排氣閥的排氣量會隨之減少，***終達到關(guān)閉。在整個抽氣過程中，當可凝性氣體的分壓超過泵溫及達到飽和蒸氣壓時，可凝性氣體就會產(chǎn)生凝結(jié)并能混合于泵油中，隨著泵的運轉(zhuǎn)及泵油循環(huán)，在返回高真空端時會重新蒸發(fā)變成蒸氣。將會影響泵的抽氣性能，加重了泵油污染。設(shè)置氣鎮(zhèn)閥可有效地防止可凝性氣體的凝結(jié)，即泵在壓縮過程中，氣鎮(zhèn)閥通過氣鎮(zhèn)孔將長久性干燥氣體摻入被壓縮的氣體中，在可凝性氣體分壓達到泵溫時的飽和蒸氣壓之前，壓縮氣體壓力就能達到排氣壓力，將排氣閥打開，把可凝性及干燥氣體同時排出。在通常情況下油封式機械泵都設(shè)置氣鎮(zhèn)閥，它的使用可參閱油封式機械真空泵技術(shù)說明書。這種泵的缺點是容易返油及噴油，為了克服這些缺點，生產(chǎn)廠家同時配有分子篩、油霧收集器、塵埃過濾和油過濾器等
