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合肥新滬屏蔽泵有限公司


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旋渦式屏蔽電泵

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地合肥市

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更新時間：2024-11-07 08:55:12瀏覽次數(shù)：175次

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經營模式：其他

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所在地區(qū)：安徽合肥市

產品簡介

旋渦式屏蔽電泵

詳細介紹

旋渦式屏蔽泵

  旋渦式屏蔽泵主要用于芯片半導體制程中溫度控制裝置，該裝置對反應腔室溫度進行精準控制;
  效率高、溫升低、系統(tǒng)溫升易于控制，有利于提高芯片半導體制程良品率。
  低流量/高揚程的高效設計，無泄漏泵送或循環(huán)揮發(fā)性和昂貴的液體，如清洗劑和熱控制液體。符合一般工業(yè)和OEM機器的 應用。所有類型的泵都有防爆電機，適用于化學或石化過程工業(yè)。

容量：0.5~3m³/h

總揚程：Max90m

輸出功率：Max15kW

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