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旋渦式屏蔽電泵

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更新時間：2024-11-07 08:55:12瀏覽次數(shù)：175次

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合肥新滬屏蔽泵有限公司

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產(chǎn)品簡介

旋渦式屏蔽電泵

詳細(xì)介紹

旋渦式屏蔽泵

旋渦式屏蔽泵主要用于芯片半導(dǎo)體制程中溫度控制裝置，該裝置對反應(yīng)腔室溫度進(jìn)行精準(zhǔn)控制;

效率高、溫升低、系統(tǒng)溫升易于控制，有利于提高芯片半導(dǎo)體制程良品率。

低流量/高揚(yáng)程的高效設(shè)計，無泄漏泵送或循環(huán)揮發(fā)性和昂貴的液體，如清洗劑和熱控制液體。符合一般工業(yè)和OEM機(jī)器的應(yīng)用。所有類型的泵都有防爆電機(jī)，適用于化學(xué)或石化過程工業(yè)。

容量：0.5~3m³/h

總揚(yáng)程：Max90m

輸出功率：Max15kW

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