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手動(dòng)探針臺(tái)的運(yùn)用方法

閱讀：177發(fā)布時(shí)間：2024-8-28

手動(dòng)探針臺(tái)的運(yùn)用方法

探針臺(tái)

1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門操控開關(guān)，使樣品an全且牢固地吸附在卡盤上。
2.運(yùn)用卡盤X軸/Y軸操控旋鈕移動(dòng)卡盤渠道，在顯微鏡低倍物鏡聚集下看清楚樣品。探針臺(tái)
3.運(yùn)用卡盤X軸/Y軸操控旋鈕移動(dòng)卡盤渠道將樣品待測(cè)驗(yàn)點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚集和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)明晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)zhong心。探針臺(tái)
5.待測(cè)點(diǎn)方位確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的方位,將探針裝上后可眼觀先將探針移到挨近待測(cè)點(diǎn)的方位周圍,再運(yùn)用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此刻動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少量，再運(yùn)用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，zui后則運(yùn)用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少量劃痕，證明是否現(xiàn)已接觸。
6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過銜接的測(cè)驗(yàn)設(shè)備開端測(cè)驗(yàn)。常見故障的排除當(dāng)您運(yùn)用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。

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