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更新時(shí)間:2025-02-12 10:15:54瀏覽次數(shù):266次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 儀表網(wǎng)AccuFiz系列干涉儀,面世于2011年,是重點(diǎn)針對波前中高頻特征測量的高分辨菲索干涉儀;光學(xué)系統(tǒng)采用衍射極限設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了高傳函,低噪聲。同時(shí)AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動(dòng)態(tài)相移干涉技術(shù)上的成功經(jīng)驗(yàn),沿用其核心算法,可通過采用動(dòng)態(tài)載波相移技術(shù),在氣流擾動(dòng)和振動(dòng)條件下實(shí)現(xiàn)高精度測量,這一技術(shù)使得AccuFiz可以解決大部分的動(dòng)態(tài)測量問題。
AccuFiz干涉儀,面世于2011年,是重點(diǎn)針對波前中高頻特征測量的高分辨菲索干涉儀,光學(xué)系統(tǒng)采用衍射極限設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了高傳函,低噪聲;同時(shí)AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動(dòng)態(tài)相移干涉技術(shù)上的成功經(jīng)驗(yàn),沿用其核心算法,采用動(dòng)態(tài)載波相移技術(shù),可在氣流擾動(dòng)和振動(dòng)條件下實(shí)現(xiàn)高精度測量,這一技術(shù)使得AccuFiz可以解決大部分的動(dòng)態(tài)測量問題。
AccuFiz干涉儀也是一款緊湊、輕巧的菲索干涉儀,可以滿足多樣的測量需求,是一款性價(jià)比很高的干涉儀。具有以下特點(diǎn):
- 衍射極限光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),提供高空間分辨率,可清晰看到樣品表面中高頻特征
- 動(dòng)態(tài)載波相移技術(shù),實(shí)現(xiàn)在氣流擾動(dòng)和振動(dòng)條件下的高精度測量
- 可接短相干光源模塊,直接測量平行平面面形,可測大于300微米厚樣品
系統(tǒng)結(jié)構(gòu):菲索型干涉儀
采集模式:機(jī)械相移式,動(dòng)態(tài)載波相移式
工作波段:632.8nm 穩(wěn)頻He-Ne光源
可選:532nm、1053nm、1064nm、1550nm(SWIR)、3-5µm(MWIR)、10.6µm(LWIR)
光 源:光源尺寸連續(xù)可調(diào),降低相干噪聲
可接入短相干光源、高功率光源
光束口徑:標(biāo)準(zhǔn)4英寸、6英寸;定制大口徑:12英寸、18英寸、24英寸
相機(jī)像素:1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels, 12bit
變倍:1-10X Smart ZoomTM
外形尺寸:4英寸: 51.4 x 23.8 x 20.3 cm
6英寸: 76.2 x 27.9 x 24.1 cm
重量:4英寸:13.6kg;6英寸:22.7kg
條紋分辨率:1.44MP相機(jī):接近500對;6MP相機(jī):接近1000對
空間頻率響應(yīng): ITF > 0.7,@ 500 cyc/AP for 1.44 MP 相機(jī); 1000 cyc/AP for 6 MP 相機(jī)
RMS重復(fù)性:<0.0001 waves (0.06nm) RMS*
RMS精密度:0.001 waves(0.6nm)RMS*
最小曝光時(shí)間:10µs
樣品反射率:1-99%(需衰減)
*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均
**采用10個(gè)數(shù)據(jù),每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均;以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果
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