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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

北京歐唐科技發(fā)展有限公司


scia Cube 750

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2025-02-13 08:14:37瀏覽次數(shù)：122次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

scia Cube 750用于樣品尺寸為 750 mm x 750 mm 的大面積鍍膜和刻蝕?？捎糜谟?jì)量光柵的制造。

詳細(xì)介紹

設(shè)備原理

通過(guò)微波激勵(lì)反應(yīng)氣體，產(chǎn)生等離子體。通過(guò)射頻偏壓，增強(qiáng)離子轟擊能量。

PECVD的過(guò)程，為使用等離子體輔助反應(yīng)，將氣體原子沉積在基板表面形成薄膜。

RIE的過(guò)程，使用反應(yīng)氣體和離子轟擊，對(duì)基板表面進(jìn)行物理與化學(xué)的刻蝕。


該系統(tǒng)專為大面積高密度等離子體工藝過(guò)程而設(shè)計(jì)，可在較寬范圍內(nèi)調(diào)節(jié)沉積參數(shù)，實(shí)現(xiàn)高速率氣相沉積鍍膜。此外，也可以使用氧氣或鹵素化學(xué)氣體進(jìn)行高各向異性蝕刻，并優(yōu)化刻蝕工藝的選擇比。


特點(diǎn)與應(yīng)用

- 通過(guò)同步線性微波源陣列，實(shí)現(xiàn)大面積等離子體工藝過(guò)程

- 在樣品支架上配置獨(dú)立的射頻偏壓，對(duì)樣品實(shí)現(xiàn)高能轟擊

- 樣品可冷卻至 -10°C

- 樣品面朝下放置，避免顆粒污染

- 可進(jìn)行原位腔室清洗處理

- 全自動(dòng)樣品真空裝載LoadLock與大氣環(huán)境樣品存儲(chǔ)系統(tǒng)


- PECVD工藝

  介質(zhì)膜的沉積, 例如封裝、阻擋涂層、電絕緣（SiO2、Si3N4等）

  光學(xué)和耐磨涂層（a-C:H，DLC）

  納米金剛石和碳納米管的生長(zhǎng)

- RIE工藝

  金屬（鎳、鉻、鉑等）的反應(yīng)蝕刻和微結(jié)構(gòu)圖形制備

  光學(xué)材料（石英、熔融石英）中光柵和其他結(jié)構(gòu)的蝕刻

  光刻膠灰化



樣品尺寸

750 mm x 750 mm
樣品支架水冷，RF偏壓
樣品溫度可以冷卻至 -10 °C 或加熱至 850 °C
等離子體源

7個(gè)線性微波源 (PL1300) 和/或RF平行平板布置, 13.56 MHz

典型刻蝕速率金屬: > 5 nm/min, SiO2: > 30 nm/min
電源
微波源: max. 48 kW, 射頻源: max. 3 kW
基礎(chǔ)真空< 1 x 10-6 mbar
系統(tǒng)尺寸（WxDxH）       3.70 m x 2.50 m x 2.00 m (不含電控柜與泵)
配置

單真空室配單樣品裝載機(jī)構(gòu)load lock， 可選大氣環(huán)境樣品裝載與存儲(chǔ)系統(tǒng)          



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