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scia Finish 1500

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更新時間：2025-02-13 08:20:39瀏覽次數(shù)：195次

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北京歐唐科技發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

Scia Finish 1500離子束拋光機用于高精度光學元件的表面拋光。該IBF系統(tǒng)采用高去除率、高穩(wěn)定離子束源，配備高效真空系統(tǒng)，可用于24/7運行的批量生產(chǎn)。

詳細介紹

常規(guī)屬性

- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面，通過控制離子束焦斑在局部區(qū)域的駐留時間，來實現(xiàn)表面材料的定量去除，從而實現(xiàn)拋光或表面修整

- 適合于大口徑光學元件長期穩(wěn)定拋光

- 專用高效離子源保證大面積的高精度拋光

- 加工效率高

- 真空倉滑動門設(shè)計，可輕松裝載大型基板

- 針對批量生產(chǎn)的設(shè)計，真空恢復用時短

系統(tǒng)性能

scia Finish 1500
樣品尺寸	ф1500 mm，400 kg
樣品臺
軸向直線運動特性	線速度0.15m/s, 線加速度15m/S2
離子源	★ 37mm 圓形射頻源RF37-i，束腰7--15mm （FWHM） ★ 120mm 圓形射頻源RF120-m，束腰16-- 36mm （FWHM）可選第二個離子源
中和器	射頻等離子橋中和器N-RF
參考去除率	SiO2： 14 mm3/h （RF37-i)96 mm3/h （RF120-m)
加工后表面精度	< 0.5nm rms （薄膜修整厚度不均勻性，與初始狀態(tài)有關(guān)）
基礎(chǔ)真空度	1x10-6 mbar
系統(tǒng)尺寸(W x D x H)	3.6m x 7.7 m x 3.4 m (不含電柜和真空泵）
軟件界面	SECS II / GEM, OPC

關(guān)鍵詞：真空泵



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