ESPI電子散斑干涉儀，用來解決漫反射表面的形變測量問題。PhaseCam ESPI動態(tài)電子散斑干涉儀，可以解決在現(xiàn)場環(huán)境下的表面沿軸向的一維形變測量問題，精度達到nm級，而不用考慮環(huán)境振動帶來的影響。應(yīng)用于大口徑拼接鏡的背部支撐材料的微變形測量。經(jīng)典應(yīng)用案例：美國JWST太空望遠鏡的主鏡的背部碳纖維支撐結(jié)構(gòu)的微變形測量。PhaseCam ESPI是在P6110的基礎(chǔ)上開發(fā)的，采用532nm高能......

詳細介紹

常規(guī)屬性

系統(tǒng)描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態(tài)相移干涉儀

采集模式：采用相位相關(guān)探測器的瞬時相移式

激光器：532nm CW激光，18W

ESPI照明：雙通道獨立照明，光纖耦合

相干長度：>35m

光束直徑：7 mm

相機像素：2000×2000 pixels

可測樣品材料：碳纖維、殷鋼、鋁等漫反射表面

系統(tǒng)性能

RMS重復(fù)性：<0.001wave*

RMS精度：<0.002wave**

測試距離：可測2m-5m

測試覆蓋范圍：Φ1.5m

配置選項

球面擴束鏡頭：F/1 to F/32；

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