真空氣氛管式爐主要運用于冶金，玻璃，熱處理，鋰電正負極材料，新能源，LED發(fā)光材料，磨具等行業(yè)測定材料在一定氣氛條件下的專業(yè)設備。廣泛適用于高、中、低溫CVD 工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴散焊接以及真空或保護氣氛下熱處理。 真空氣氛管式爐的作用原理：
物體在通入一定氣體的爐膛內進行燒結的方法。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結，有助于燒結過程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。是在真空情況下，通入氣氛保護燒結物體在爐膛內進行燒結的方法。
真空氣氛管式爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結。有時為保護燒結調協(xié)也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。
真空氣氛管式爐設備特點有：
1.采用高純石英管或剛玉管作為爐膛，可拆卸式的三面密封方式，具有良好的潔凈度和真空度。
2.耐火、保溫材料全部采用的輕質纖維制品，整機質量輕，能耗低。
3.加熱原件采用U型硅鉬（碳）棒或進口電阻絲。
4.溫控系統(tǒng)采用進口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性和重復性。
