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智泰集團(tuán)杭州辦事處
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自動(dòng)白光干涉儀

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SIS 2000

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地杭州市

聯(lián)系方式:曹文超查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2018-05-15 15:35:23瀏覽次數(shù):1253次

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產(chǎn)品介紹 白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù),是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),,為韓國(guó)SAMSUNG*供應(yīng)商,LPL友好俱樂(lè)部成員,清華大學(xué),中國(guó)臺(tái)灣大學(xué),首爾大學(xué)友好合作伙伴。
SIS 2000基本信息
品牌: SNU 型號(hào): SIS 2000 操作方式: 自動(dòng)
功能: 檢測(cè)、觀察、分析 精度 : 1nm    
其它型號(hào):
SIS 1200  
 
SIS 2000產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,*而快速的運(yùn)算。
SIS 2000技術(shù)參數(shù)

機(jī)型

SIS 2000

工作臺(tái)

尺寸

350mm×350mm

傾斜度

±3 °

測(cè)量行程

X:200mm   Y:200mm

Z軸行程

100mm

運(yùn)動(dòng)方式

自動(dòng),馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

掃描速度

30μm/sec

垂直分辨率

0.1nm

CCD

黑白CCD, 640×480 像素

物鏡安裝架

手動(dòng) 5個(gè)位移的可定位夾具

鏡頭選配

鏡頭:5×、10×、20×、50×

SIS 2000應(yīng)用領(lǐng)域
1、TFT產(chǎn)業(yè)
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高??蒲?br />5、精密加工

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