橫河EJA差壓變送器采用微電子加工技術(shù)：一個單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作兩個形狀、尺寸、材質(zhì)一致的H形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩。單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時，將產(chǎn)生形變,導(dǎo)致中心諧振梁因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加。
兩頻率之差信號直接送到CPU進行數(shù)據(jù)處理，然后經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號，通訊時疊加Brain或Hart數(shù)字信號；直接輸出符合現(xiàn)場總線標(biāo)準的數(shù)字信號。其主要性能：靜壓影響忽略不計，當(dāng)加有靜壓(工作壓力)時，兩形狀，尺寸、材質(zhì)一致的諧振梁形變相同，故頻率變化也一致，故偏差自動清除(公式和圖類似溫度影響)。
橫河EJA差壓變送器單向過壓特性優(yōu)異，接液膜片與膜盒本體采用的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時，接液膜片能與本體接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增加，從而達到對傳感器的保護作用。
