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高性能X射線熒光分析儀EA1000VX在ITO涂層測(cè)厚中的應(yīng)用

閱讀：101發(fā)布時(shí)間：2025-4-1

高性能X射線熒光分析儀EA1000VX在ITO涂層測(cè)厚中的應(yīng)用

手機(jī)、平板電腦在生活中使用頻率很高，其顯示屏的輻射影響人的眼睛健康。 ITO涂層是提高屏幕或保護(hù)膜的可見(jiàn)光通過(guò)率的同時(shí)阻止有害射線通過(guò)的高科技涂膜。

ITO膜的結(jié)構(gòu)精細(xì)，在基體的兩面先涂覆一層約0.1um的膠體，然后再進(jìn)行ITO膜的涂覆。其中基體材料都是透明的材料，厚度100um左右。

若用傳統(tǒng)的X射線熒光膜厚儀器測(cè)量ITO層的厚度，將出現(xiàn)以下困難：

1. 基體材料和ABHC層是不可元素。

2. 樣品總厚度很薄，整體被穿透。

3. ITO層太薄，超出一般XRF檢測(cè)下限。

4. 樣品為雙面涂覆，無(wú)法分辨層次信號(hào)。

EA1000VX元素分析儀

XRF是成熟而高效元素分析方法，因其快速和低成本而廣泛使用于工業(yè)產(chǎn)品檢測(cè)。

日立儀器的EA1000VX元素分析儀采用的VOTEX熒光檢測(cè)器，具有30萬(wàn)CPS計(jì)數(shù)率，對(duì)超薄鍍層、涂層具有非常靈敏的信號(hào)檢測(cè)能力。儀器標(biāo)配有5mm光斑，可大大增加涂層信號(hào)的激發(fā)能力（一般膜厚儀只有0.2mm光斑）。

ITO涂層厚度測(cè)量

■ 機(jī)型：EA1000VX

■ 樣品：某品牌護(hù)眼手機(jī)屏保膜

■ 測(cè)量方法：EA1000VX是從下向上照射，樣品倉(cāng)頂部有Al板作為背景補(bǔ)償，解決樣品穿透問(wèn)題；利用EA1000VX高計(jì)數(shù)率和大光斑解決ITO太薄信號(hào)不足問(wèn)題；利用FP法樣品修正解決雙面涂覆問(wèn)題。

護(hù)眼手機(jī)屏保膜