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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

深圳市汐品科技有限公司


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球差場發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地珠海市

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更新時(shí)間：2026-08-19 12:24:48瀏覽次數(shù)：193次

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產(chǎn)品簡介

標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*

詳細(xì)介紹

概述
產(chǎn)品參數(shù)

200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能

通過單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700"的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。
對于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。

  • ※

  • 附帶第二顯示器（可選），顯示屏為嵌入式合成界面。


  1. 標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）

  2. 搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍

  3. 鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升

  4. 觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像

  5. 采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿

  6. 支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）

  7. 采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋

  8. 配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*

產(chǎn)品參數(shù)

主要規(guī)格

項(xiàng)目內(nèi)容
電子源W（310）冷陰極場發(fā)射型
加速電壓200 kV、60 kV*1
圖像分辨率STEM0.078 nm（ADF-STEM圖像）
TEM0.102 nm（晶格像）
倍率STEM×20～×8,000,000
TEM×100～×1,500,000
樣品微動(dòng)樣品臺偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺
樣品尺寸3 mm Φ
移動(dòng)范圍X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
樣品傾斜α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1）
像差校正器配有日立照射系統(tǒng)球面像差校正器（標(biāo)配）
圖像顯示PCWindows® 7 *2
顯示器27英寸寬屏液晶顯示器（機(jī)體控制顯示器、第二顯示器*1）
攝像頭標(biāo)配伸縮式攝像頭
屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察）

機(jī)體尺寸/重量

項(xiàng)目寬度×進(jìn)深×高度（mm）重量（kg）
鏡體（含電子槍）1,060×1,742×2,9701,940
機(jī)體外殼蓋1,678×1,970×3,157429
操作臺1,400×819×740132
擴(kuò)展操作臺*1580×819×74053
FE槽1,041×840×1,317482
V0槽398×630×1,046164
控制電源1,400×693×816173
像差校正器電源606×529×1,09681
排氣系統(tǒng)電源913×663×1,790378
轉(zhuǎn)向系統(tǒng)電源913×663×1,790394
配重塊280×130×13023
Gatan控制器*1*3576×648×1,173150
冷卻水控制裝置470×540×35025
冷卻水循環(huán)裝置*1*3970×970×1,06495
干式泵*1252×400×33623
空壓機(jī)*1275×560×57625

安裝條件

項(xiàng)目內(nèi)容
室溫15～23℃（溫度變化：0.2℃/h以內(nèi)）
濕度40～60% RH
電源機(jī)體單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA
斷路器容量 50 A
冷卻水循環(huán)裝置*1*3三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
接地D種接地（100 Ω以下）
冷卻水水量5.1～5.3 L/min 1系統(tǒng)、2.0～2.2 L/min 1系統(tǒng)
（水壓0.25 MPa）
水溫16～18℃（變動(dòng)：±0.1℃以內(nèi)）
氣體SF699.9%以上、180 k～200 kPa
干氮99.9%以上、0～100 kPa
壓縮空氣600 k～800 kPa

購買之前，請?jiān)O(shè)置預(yù)定安裝處測量振動(dòng)、磁場和噪聲，如果超過容許值，請務(wù)必另行咨詢。
關(guān)于容許值，請另行咨詢。

  • 備注

  • *1：選項(xiàng)。*2：Windows是在美國以及其他國家的注冊的美國Microsoft Corp.商標(biāo)。*3：規(guī)格、尺寸均根據(jù)廠家、型號和配置的不同而會有所不同。



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