P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器，中心通孔孔徑分別為160mm，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，與光學(xué)平面檢測儀相匹配。

特點(diǎn)

· 一維 Z 向運(yùn)動(dòng)

· 分辨率可達(dá)0.5nm

· 通孔尺寸為Ø160mm

· 行程范圍20μm

· 大承載10kg

承載能力

P77.D4 的承載能力高達(dá)10kg。

多點(diǎn)位移測量

出廠前，對多個(gè)點(diǎn)進(jìn)行位移測量，保證運(yùn)動(dòng)的直線度。

步進(jìn)曲線

開環(huán)曲線

技術(shù)參數(shù)

以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得