9
當前位置：哈爾濱芯明天科技有限公司>>技術文章>>電容式測微儀的原理分析
電容式測微儀的原理分析
電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型，主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應用。
在電容微位移測量中，電容位移傳感器對微位移的測量越、響應速度越快、非線性越小，整體性能就越好。首先由傳感器感受微位移的變化，并將其轉換成電容量的變化，然后經(jīng)過信號轉換電路將電容量的變化轉換成可測的電壓信號，然后利用A/D轉換器實現(xiàn)信號的采集，由單片機進行信號的處理和傳輸。終實時顯示，并進行線性擬合給出相關數(shù)據(jù)。
以電容式微位移傳感器為基礎，利用運算放大器測量電路原理，當恒定頻率的正弦激勵電流通過傳感器電容時，傳感器上產(chǎn)生的電壓幅值與電容極板間隙成比例關系。主放大器具有高輸入阻抗，保證足夠大的開環(huán)增益以實現(xiàn)高精度運算，其輸出為一調幅波，幅值的變化與被測位移變化一一對應。通過全波整流電路、增益濾波電路對放大的被測信號進行解調，后進入A/D轉換進行數(shù)據(jù)處理，在單片機的控制下完成數(shù)據(jù)的顯示等過程，提高了輸出信號的抗干擾性。
電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。 它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。
丰县|
民和|
安国市|
吴桥县|
南木林县|
绥芬河市|
额济纳旗|
河津市|
逊克县|
游戏|
清流县|
布尔津县|
定结县|
德钦县|
浮山县|
崇礼县|
仁化县|
保亭|
芦溪县|
合水县|
娱乐|
龙陵县|
留坝县|
永济市|
本溪|
自治县|
杭锦旗|
宣威市|
永春县|
越西县|
天峻县|
海口市|
军事|
长治县|
平安县|
光山县|
宜阳县|
南安市|
凤庆县|
大洼县|
甘洛县|