在計(jì)量學(xué)、超高分辨率顯微鏡、干涉測(cè)量等應(yīng)用系統(tǒng)中，對(duì)定位精度有著越來(lái)越高的要求，這就需要高性能的納米級(jí)壓電定位臺(tái)作為技術(shù)支持。為了實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位，需要高精度的驅(qū)動(dòng)方式和傳動(dòng)方式，使定位臺(tái)達(dá)到納米級(jí)的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺(tái)利用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為傳動(dòng)裝置構(gòu)成高精度定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精密定位。

       通常柔性鉸鏈摩擦的影響可以忽略不計(jì)，但是在納米定位要求中卻是相當(dāng)重要而不可忽略。芯明天納米定位臺(tái)采用的是柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)高分辨率以及大位移行程。

       柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無(wú)摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高、頻響高的超高精度納米定位臺(tái)。同時(shí)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺(tái)的使用壽命。

       同時(shí)，壓電納米定位臺(tái)的行程也可通過(guò)機(jī)構(gòu)放大式柔性鉸鏈放大。壓電陶瓷被集成在柔性接頭內(nèi)，行程可擴(kuò)展至毫米級(jí)。

芯明天壓電納米定位臺(tái)

       芯明天壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運(yùn)動(dòng)，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有*的可靠性。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像等系統(tǒng)。