精密定位技術(shù)對(duì)定位系統(tǒng)的精度和行程提出了越來越高的要求，壓電機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)宏微復(fù)合對(duì)這一要求提供了關(guān)鍵的技術(shù)支持，解決了其要求行程大、定位精度高等技術(shù)難題，同時(shí)還具備了體積小、響應(yīng)速度快、出力大等技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

芯明天壓電宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是手動(dòng)調(diào)節(jié)與電壓調(diào)節(jié)相結(jié)合的超精密定位臺(tái)。控制結(jié)構(gòu)分為兩部分，一部分為手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)，通過千分尺進(jìn)行調(diào)節(jié)；另一部分為壓電納米定位臺(tái)，內(nèi)部由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，通過施加電壓來控制。在粗調(diào)機(jī)構(gòu)中，可調(diào)整的直線運(yùn)動(dòng)行程為13mm，分辨率為10μm。在精調(diào)機(jī)構(gòu)中，可調(diào)整的直線運(yùn)動(dòng)行程可達(dá)100μm，分辨率為2.5nm。可通過兩種調(diào)節(jié)結(jié)合來達(dá)到納米級(jí)定位精度。

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以P84系列壓電宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)為例

特點(diǎn)：

· X向運(yùn)動(dòng)，1至3維自由組合；

· 易于調(diào)節(jié)，分辨率可達(dá)2.5nm

· 粗調(diào)行程13mm/軸

· 精調(diào)行程100μm/軸

· 壓電調(diào)節(jié)可選配閉環(huán)傳感器

· 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小巧

技術(shù)參數(shù)：

P84宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)可與宏動(dòng)平臺(tái)配合使用，1~3維自由組合，組成大行程高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。