壓電掃描臺(tái)專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

　　空式壓電平臺(tái)是指平臺(tái)臺(tái)面有透空通孔的平移臺(tái)。主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整，可與顯微鏡和分析設(shè)備結(jié)合使用用于定位與測(cè)量。如超分辨顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM顯微鏡）生物學(xué)研究等。

　　壓電掃描臺(tái)主要應(yīng)用：

　　1.圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微；

　　2.干涉/計(jì)量；

　　3.表面檢測(cè)；

　　4.晶圓定位/微操作。

　　壓電掃描臺(tái)大行程穩(wěn)定性好響應(yīng)速度快，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速、高精度掃描臺(tái)可實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺(tái)體中心60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。