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壓電物鏡定位器在激光切割上的應(yīng)用

時間：2020-6-16 閱讀：1751

　　壓電物鏡定位器專為物鏡聚焦顯微而設(shè)計，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測或觀測裝置可帶動鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

　　激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器精確調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運(yùn)動，在切割材料上形成切縫從而達(dá)到切割的目的。

　　壓電物鏡定位器可快速調(diào)節(jié)聚焦點(diǎn)即加工點(diǎn)的位置，使其在目標(biāo)切割位置，聚焦行程可達(dá)110μm，分辨率可達(dá)2.5nm。該定位器為大負(fù)載Z軸運(yùn)動壓電物鏡定位器，負(fù)載能力可達(dá)500g，Z軸直線運(yùn)動范圍可達(dá)110μm，采用柔性鉸鏈設(shè)計機(jī)構(gòu)，無摩擦，直線性好，閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計，可適配多種型號的顯微鏡。

　　納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計是為了大負(fù)載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到z快的階躍時間。它極其堅固的設(shè)計提供了非常快的穩(wěn)定時間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅(qū)動器的旋轉(zhuǎn)對稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計，使它具有較高的剛度，同時保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動態(tài)性。

　　壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場物鏡。壓電物鏡定位器可匹配多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，也可以通過適配器與手動調(diào)節(jié)臺相結(jié)合使用。