壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)大370μm的掃描范圍，運(yùn)動(dòng)直線性好，可選擇閉環(huán)版本獲得優(yōu)異的線性度與重復(fù)定位精度。壓電掃描臺(tái)采用*的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大剛度、大出力、大承載等特點(diǎn)，大承載達(dá)3.5kg，空載諧振頻率達(dá)600Hz，配套芯明天大功率控制器響應(yīng)時(shí)間高可達(dá)5ms，是精密加工、半導(dǎo)體制造、掃描顯微等應(yīng)用的選擇。壓電掃描臺(tái)在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級(jí)的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。