常見的檢測儀器是光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)，以其檢測速度快、精度高等特點受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺，使顯微熱圖像在四個依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統(tǒng)通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。

 

　　除了光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)還有壓電偏轉(zhuǎn)臺，壓電偏轉(zhuǎn)臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。

 

　　芯明天一維θz向壓電偏轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，最大旋轉(zhuǎn)角度7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運動。是通過壓電陶瓷驅(qū)動進行精密角度調(diào)整，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保了產(chǎn)品具有良好的偏轉(zhuǎn)精度和超高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整。